徐柳　鄧學(xué)文

【摘要】電子束蒸發(fā)鍍膜是鍍膜的一種重要的形式，鍍膜機(jī)在工業(yè)生產(chǎn)中被大量的使用，本文將通過對(duì)BAK641電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)原理以及一些實(shí)例的敘述來探討相關(guān)的維修技巧。

【關(guān)鍵詞】電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)；機(jī)構(gòu)原理；維修技巧

1、引言

蒸發(fā)鍍膜的方法是鍍膜機(jī)鍍膜的其中之一，蒸發(fā)鍍膜需要在真空的條件下去對(duì)元器件進(jìn)行鍍膜的操作，屬于一種比較古老的鍍膜技術(shù)。隨著科技的不斷的發(fā)展，技術(shù)的不斷進(jìn)步，在許多的應(yīng)用中，蒸發(fā)鍍膜的方法逐漸的被一些新型的鍍膜方法所取代，但是，如果是需要鍍膜的面積比較大的時(shí)候，蒸發(fā)鍍膜的方法相較于其他的鍍膜方法而言是比較常用的，并且也是最經(jīng)濟(jì)的方法。

2、蒸發(fā)鍍膜機(jī)的工作原理

蒸發(fā)鍍膜的工作原理屬于比較簡(jiǎn)單的一種，主要是需要在真空的環(huán)境中，將材料通過鍍膜機(jī)中的電子束來進(jìn)行加熱，當(dāng)達(dá)到一定的溫度的時(shí)候，材料就會(huì)出現(xiàn)被蒸發(fā)的現(xiàn)象，蒸發(fā)掉的材料就會(huì)沉積在鍍膜機(jī)的腔體內(nèi)部，因此就會(huì)形成工業(yè)中所需要的薄膜。

3、蒸發(fā)鍍膜機(jī)的特點(diǎn)

BAK641電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)是在工業(yè)中比較常使用的薄膜制造設(shè)備，由于蒸發(fā)鍍膜機(jī)的特點(diǎn)在生產(chǎn)薄膜的時(shí)候發(fā)揮了巨大的作用，薄膜的產(chǎn)生主要是通過鍍膜機(jī)中的電子束的加熱產(chǎn)生的。

3.1、鍍膜機(jī)電子束加熱蒸發(fā)的優(yōu)點(diǎn)：

3.1.1、鍍膜機(jī)中的電子束加熱的方法與傳統(tǒng)的電阻加熱的方法相比較的話。電子束加熱會(huì)產(chǎn)生更高的通量密度，這樣的話對(duì)于高熔點(diǎn)的材料的蒸發(fā)比較有利，而且還可以使的蒸發(fā)的速率得到一定程度上的提高。3.1.2、蒸發(fā)鍍膜機(jī)在工作的時(shí)候會(huì)將需要被蒸發(fā)的原材料放入到水冷銅坩堝內(nèi)，這樣就可以保證材料避免被污染，可以制造純度比較高的薄膜。3.1.3、電子束蒸發(fā)的粒子動(dòng)能比較的大，這樣會(huì)有利于薄膜的精密性和結(jié)合力。

3.2、鍍膜機(jī)電子束加熱蒸發(fā)的缺點(diǎn)

3.2.1、電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的整體的構(gòu)造比較的復(fù)雜，價(jià)格相較于其他的鍍膜設(shè)備而言比較的偏高。3.2.2、鍍膜機(jī)在工作的時(shí)候，如果蒸發(fā)源附近的蒸汽的密度比較高的話，就會(huì)使得電子束流和蒸汽粒子之間發(fā)生一些相互的作用，將會(huì)對(duì)電子的通量產(chǎn)生影響，使得電子的通量散失或者偏移軌道。同時(shí)你還可能會(huì)引發(fā)蒸汽和殘余的氣體的激發(fā)和電離，以此影響到整個(gè)薄膜的質(zhì)量。

4、電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的組成結(jié)構(gòu)

電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)主要是由控制系統(tǒng)、真空氣路系統(tǒng)以及電子槍系統(tǒng)組成。

4.1、電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)中的真空氣路

在真空的氣路中有兩個(gè)機(jī)泵，分別是前級(jí)機(jī)械泵和高真空低溫泵，其中的低溫泵作用主要是通過在非常低的溫度來，依據(jù)冷傘吸附的原來來達(dá)到抽真空的目的。在高真空低溫泵的啟動(dòng)的過程中，前級(jí)機(jī)械泵會(huì)先將管道處在一個(gè)真空的狀態(tài)中，當(dāng)管道的真空度達(dá)到一定的程度的時(shí)候，仟吉閥就會(huì)打開，這樣前級(jí)機(jī)械泵會(huì)繼續(xù)工作，使得管道和低溫泵都有一個(gè)真空的狀態(tài)，然后就是前級(jí)閥在重復(fù)上面的步驟。

4.2、電子束加熱蒸發(fā)源

電子束的蒸發(fā)源主要是由電子槍和坩堝兩部分組成，必要的時(shí)候可能會(huì)附帶一套可以給鍍膜機(jī)提供原材料的機(jī)械設(shè)備。在大多數(shù)的情況中，在鍍膜機(jī)中會(huì)將產(chǎn)生以及控制電子束的控制裝置和坩堝的設(shè)計(jì)組成一個(gè)整體。以下是電子束加熱蒸發(fā)源的幾種表現(xiàn)的結(jié)構(gòu)形式；

4.2.1、采用直線陰極和靜電聚焦方式加熱的蒸發(fā)器。4.2.2、采用環(huán)狀陰極和靜電聚焦方式加熱的蒸發(fā)器。4.2.3、采用軸向槍和靜電遠(yuǎn)聚焦方式加熱的蒸發(fā)器。4.2.4、采用軸向槍、磁聚焦和磁偏轉(zhuǎn)90度方式加熱的蒸發(fā)器。4.2.5、E型電子槍蒸發(fā)器，e型電子束蒸發(fā)源所發(fā)射的電子軌跡與”e”字相似，故簡(jiǎn)稱e型槍。目前這種形式的蒸發(fā)源在真空蒸鍍膜工藝中應(yīng)用最為廣泛。

5、BAK641電子束蒸發(fā)器鍍膜機(jī)的維修技巧

電子蒸發(fā)束鍍膜機(jī)在使用的過程中因?yàn)樽陨碓O(shè)備的特點(diǎn)可能會(huì)出現(xiàn)或大或小的故障問題，最常見到的故障大多是由電路短路、鍍膜材料的殘?jiān)仍颉?/p>

5.1、真空的腔體內(nèi)有焦糊味

設(shè)備在使用中，從真空腔體內(nèi)發(fā)出焦糊味，首選要判斷的是零件時(shí)候有發(fā)生損壞或者被燒毀，如果在排查后發(fā)現(xiàn)零件沒有任何的異常或者損壞，那么工作人員就需要對(duì)設(shè)備進(jìn)行逐步的排查，在維修的過程中需要對(duì)腔體采用排除的方法進(jìn)行檢測(cè)，電子蒸發(fā)源是整個(gè)系統(tǒng)的主要的結(jié)構(gòu)，也是排查問題的時(shí)候最需要檢測(cè)的位置。

5.2、電子槍無法正常的工作

由于電子束是依靠電子槍產(chǎn)生的，如果電子槍無法正常的工作會(huì)影響到整臺(tái)設(shè)備的正常工作。首選需要確定的是高壓電纜線的連接部位是否正常，如果正常的情況的話，就需要查看周圍的環(huán)境是否比較的潮濕，潮濕的環(huán)境有可能會(huì)造成電路的短路，容易造成設(shè)備出現(xiàn)故障問題。

5.3、電子束流不能正常的加載

出現(xiàn)這種故障有可能是電極或者電極或者是調(diào)壓器內(nèi)部有積炭或有短路現(xiàn)象，它在低電流時(shí)還正常，但把電流升到一定的數(shù)值時(shí)就擊穿，就會(huì)出現(xiàn)跳斷路器的現(xiàn)象，表面上有時(shí)發(fā)現(xiàn)不了，最好用兆歐表對(duì)地?fù)u一搖。

6、總結(jié)

鍍膜機(jī)是工業(yè)中用來鍍膜的主要設(shè)備，及時(shí)對(duì)設(shè)備進(jìn)行檢測(cè)以及保養(yǎng)對(duì)設(shè)備的正常工作有著非常大的影響，及時(shí)而又正確的維修不但可以節(jié)省維修的時(shí)間還可以提高設(shè)備的工作效率。

參考文獻(xiàn)

[1]胡國兵.BAK641電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)結(jié)構(gòu)原理與維修，《科技創(chuàng)業(yè)家》，2013年12期

[2]楊燕.ZnO納米線的熱蒸發(fā)法制備及其受激輻射研究.凝聚態(tài)物理.蘇州大學(xué)，2013（學(xué)位年度）