鄧學(xué)文　徐柳

【摘要】真空鍍膜機主要應(yīng)用在電子工業(yè)的元器件的生產(chǎn)和研制的過程中，該設(shè)備針對的是需要在較高真空下進行鍍膜的元器件，本文將通過對真空鍍膜設(shè)備的介紹以及在實際工作的應(yīng)用及原理來分析故障排除的策略。

【關(guān)鍵詞】真空鍍膜機；故障排除；策略

1、引言

隨著經(jīng)濟的不斷的發(fā)展，電子工業(yè)也隨之不斷的發(fā)展，因此對于工業(yè)的要求也在不斷的提高，對于主要應(yīng)用在電子工業(yè)中的真空鍍膜機而言，真空鍍膜機自身的性能也在不斷的提升。設(shè)備的使用有時候會出現(xiàn)某些故障，而對故障的及時排除不但可以縮短維修的時間，同時對類似的設(shè)備的排除工作提供便利。

2、真空鍍膜機簡介

2.1真空鍍膜機結(jié)構(gòu)

本文主要介紹DMF-700真空鍍膜機的結(jié)構(gòu)和特點，DMF-700真空鍍膜機是一種大型的真空鍍膜的設(shè)備。DMF-700真空鍍膜機是在以前的鍍膜機的基礎(chǔ)上進行改進而來。DMF-700真空鍍膜機主要是由真空系統(tǒng)、機械系統(tǒng)以及電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為主要部分構(gòu)建而成。三大系統(tǒng)中的電子束蒸發(fā)系統(tǒng)又是主要由縱向以及橫向掃描單元和電子槍的燈絲變壓和高壓電源組合而成。

2.1.1基于高壓電源的電子槍設(shè)備：三相變壓器電路為電子槍的使用提供了它所需要的直流的電壓，在正端是和復(fù)合裝置相連，可以到達接地的目的，而相較于正端的接地，負端和電子槍中的電子槍燈絲相連接。以此來組成回路。2.1.2縱向/橫向掃描單元：兩種掃描單元都可以提供三角波掃描信息，主要的特點是三角波掃描信號是對稱發(fā)生的。當(dāng)它和比較穩(wěn)定的電源相配合的時候就會對電子槍提供掃描電流，從而可以達到對電子束的控制。

2.2真空鍍膜機的原因

真空鍍膜機是用于真空的條件下，采用了電阻式的蒸發(fā)源的形式，來對石英片蒸鍍一層可以導(dǎo)電的導(dǎo)電膜，導(dǎo)電膜通常使用的是銀，這樣就會形成電極，以便于可以作為各種不同頻率的振蕩器。

2.3真空鍍膜機的主要特點：

2.3.1真空鍍膜機在整個鍍膜的過程中都是處于在高真空、恒溫以及設(shè)備的自動控制中進行處理的，在這種的環(huán)境中，可以保證元器件所鍍的膜的均勻性、一致性以及整個膜層的牢固度，保證了膜的整體的質(zhì)量。2.3.2設(shè)備在連續(xù)的高溫烘烤的環(huán)境狀態(tài)中，機器中的十八個工作的工位夾會連續(xù)的進行六十到一百二十度的持續(xù)翻轉(zhuǎn)，工作夾的準(zhǔn)確定位、沒有噪音的產(chǎn)生以及不會發(fā)生卡滯的現(xiàn)象，會在一定的程度上確保蒸鍍上的晶片上每個被鍍的表面上都有均勻、牢固的膜層。2.3.3設(shè)備中的真空室的設(shè)計的可靠性以及合理性好。2.3.4真空鍍膜機中的真空控制選用的是可編程的控制器以及石英晶體膜厚的速率監(jiān)控儀，這樣的控制器可以分層控制所鍍膜層的厚度，當(dāng)鍍的膜層到達一定的厚度的時候，蒸發(fā)源的擋板會自動的關(guān)閉并檢測到蒸發(fā)的速度，以此可以實現(xiàn)真空自動化控制的效果。

3、真空鍍膜機常見的故障及其排除策略

如果鍍膜機出現(xiàn)故障后，工作人員應(yīng)該第一時間的向使用者了解設(shè)備出現(xiàn)故障的現(xiàn)象，然后再對故障進行排查以確保更加準(zhǔn)確、更加快速以及更加合理的對故障進行排除。

在排除設(shè)備的故障時，首選要對低真空的設(shè)備進行檢測，檢測其是否正常的工作，如果發(fā)現(xiàn)低真空設(shè)備可以正常的工作就需要打開鍍膜機的主泵，如果主泵依舊正常的工作，就需要檢測下室真空是否正常的工作，然后按照開高閥進行高真空的檢查，一直檢測到工作真空、極限真空、保真空以及到恢復(fù)真空。一下為幾種常見的故障及其排除的方法

3.1真空的管路或者系統(tǒng)內(nèi)出現(xiàn)返油現(xiàn)象

當(dāng)在啟動設(shè)備的時候，設(shè)備的真空管路或者設(shè)備中出現(xiàn)返油的現(xiàn)象，這種現(xiàn)象的發(fā)生有可能是油蒸汽返流到設(shè)備的真空管路或者系統(tǒng)中，還有可能就是油蒸汽壓不對、抽氣管路的底部用來密封的密封件損壞或者腐蝕。這種現(xiàn)象就需要對設(shè)備中的油和器件進行更換以及修理。

3.2系統(tǒng)工作時的溫度過高

設(shè)備在正常的工作中是處于一種恒溫的狀態(tài)，如果發(fā)現(xiàn)系統(tǒng)在工作時，設(shè)備的溫度過高，出現(xiàn)這種現(xiàn)象的原因有可能是設(shè)備的抽氣口和排氣口連接錯誤、周圍環(huán)境的溫度達到或者超過油蒸汽壓、工作氣體的溫度過高等等原因。

3.3設(shè)備在工作時，泵達不到極限真空度

當(dāng)使用鍍膜機鍍膜時發(fā)現(xiàn)泵達不到極限真空，造成鍍膜工作的不能正常的進行，出現(xiàn)這種情況的原因有可能是設(shè)備的排氣管直徑小于排氣口的直徑、系統(tǒng)的主閥出現(xiàn)問題、真空閥或者排氣閥出現(xiàn)損壞等等。

3.4泵油的消耗過多

泵油的消耗和裝油的裝置有關(guān)，有可能是出油口的密封圈損壞、進油口或者出油口發(fā)生泄漏、油封的安裝錯誤等。

4、總結(jié)

真空鍍膜機在工業(yè)中屬于比較大型和復(fù)雜的工作設(shè)備，鍍膜機在實際的使用中，有可能會出現(xiàn)各種各樣的故障和使用問題，現(xiàn)象也行簡單也行復(fù)雜，工作人員通過對鍍膜機的了解，在一定的程度上可以分析到故障產(chǎn)生的原因，能有效的縮短對故障的排查和維修的時間，在提高自己工作效率的同時還可以提高設(shè)備的工作效率，達到雙贏的結(jié)局。

參考文獻

[1]陳曉東，王磊，何方.鍍膜機控制系統(tǒng)原理及電路故障分析方法.《電源技術(shù)》，2011年9期

[2]李銳，張軍，汪小芳.基于PEM的反應(yīng)磁控濺射鍍膜機參數(shù)監(jiān)控系統(tǒng).《計算機測量與控制》，2014年10期