氮化鉭的刻蝕方法、磁傳感器的形成方法

申請(qǐng)?zhí)? 201410006637

【公開號(hào)】CN103700623A

【公開日】2014.04.02

【分類號(hào)】H01L21/768

【申請(qǐng)日】2014.01.07

【申請(qǐng)人】上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司

【發(fā)明人】張振興;奚裴;熊磊

【摘 要】一種氮化鉭的刻蝕方法、磁傳感器的形成方法。氮化鉭刻蝕方法包括：以圖形化的光刻膠層為掩膜，對(duì)氮化鉭薄膜進(jìn)行干法刻蝕，形成氮化鉭層。干法刻蝕工藝的射頻功率≤500W，較低的射頻功率使得所形成的刻蝕氣體的等離子體的能量較低，對(duì)氮化鉭薄膜的轟擊作用較低，被轟擊濺射產(chǎn)生的鉭元素與光刻膠形成的聚合物較少；用于承載晶片的承片臺(tái)的溫度≥25℃，較高的溫度有利于所形成的聚合物被分解。因此本發(fā)明刻蝕氮化鉭的工藝容易控制。

無線傳感器網(wǎng)絡(luò)能耗均衡覆蓋調(diào)度及路由跨層設(shè)計(jì)方法

申請(qǐng)?zhí)? 201410004743

【公開號(hào)】CN104168631A

【公開日】2014.11.26

【分類號(hào)】H04W84/18; H04W52/02

【申請(qǐng)日】2014.01.06

【申請(qǐng)人】北京航空航天大學(xué)

【發(fā)明人】熊慶旭;付寅飛

【摘 要】本發(fā)明提供了一種無線傳感器網(wǎng)絡(luò)能耗均衡覆蓋調(diào)度及路由跨層設(shè)計(jì)方法。首先利用改進(jìn)的ECCP冗余節(jié)點(diǎn)判定算法，在考慮節(jié)點(diǎn)剩余能量的基礎(chǔ)上，構(gòu)造最小節(jié)點(diǎn)覆蓋集。隨后通過節(jié)點(diǎn)能耗速率來預(yù)測(cè)節(jié)點(diǎn)壽命，并確定激活的額外節(jié)點(diǎn)，使得網(wǎng)絡(luò)中節(jié)點(diǎn)能耗盡可能均衡。本發(fā)明提供的覆蓋調(diào)度算法將節(jié)點(diǎn)能耗速率作為調(diào)度依據(jù)，并以此建立了關(guān)聯(lián)路由協(xié)議的直接通道，可實(shí)現(xiàn)綜合覆蓋調(diào)度和路由的跨層設(shè)計(jì)。本發(fā)明提供了以定向擴(kuò)散路由協(xié)議為例子的具體結(jié)合的方法。仿真結(jié)果顯示，應(yīng)用本發(fā)明提供的覆蓋調(diào)度算法能夠顯著延長(zhǎng)網(wǎng)絡(luò)壽命。

油位檢測(cè)結(jié)構(gòu)組件及傳感器

申請(qǐng)?zhí)? 201420006373

【公開號(hào)】CN203962092U

【公開日】2014.11.26

【分類號(hào)】F01M11/00; F01M11/12

【申請(qǐng)日】2014.01.06

【申請(qǐng)人】重慶隆鑫發(fā)動(dòng)機(jī)有限公司

【發(fā)明人】萬力;彭吉文;崔興建

【摘 要】本實(shí)用新型公開了一種油位檢測(cè)結(jié)構(gòu)組件及傳感器，包括油位傳感器和發(fā)動(dòng)機(jī)殼體。油位傳感器安裝于發(fā)動(dòng)機(jī)殼體用于檢測(cè)發(fā)動(dòng)機(jī)殼體內(nèi)油位，檢測(cè)油位的檢測(cè)點(diǎn)靠近機(jī)油泵吸油口，這種結(jié)構(gòu)能夠保證及時(shí)檢測(cè)油泵是否連續(xù)供油，以保證潤(rùn)滑；并且車輛在上坡等行駛狀況下或者油位較低報(bào)警時(shí)油位高于機(jī)油孔有效吸油位置，利于準(zhǔn)確反映發(fā)動(dòng)機(jī)正常工作機(jī)油液位，以保證及時(shí)發(fā)現(xiàn)機(jī)油缺失等問題，避免因?yàn)闊o油或少油運(yùn)轉(zhuǎn)導(dǎo)致的拉缸、曲軸抱死等故障。

用于機(jī)械計(jì)度器字輪定位的電感傳感器

申請(qǐng)?zhí)? 201420004285

【公開號(hào)】CN204115799U

【公開日】2015.01.21

【分類號(hào)】G01F15/16; G01F15/06

【申請(qǐng)日】2014.01.06

【申請(qǐng)人】曾少華

【發(fā)明人】曾少華

【摘 要】本實(shí)用新型涉及一種用于機(jī)械計(jì)度器字輪定位的電感傳感器的具體組成結(jié)構(gòu)和安裝方式。其作用是在產(chǎn)品批量生產(chǎn)時(shí)，確保電感傳感器使用性能的穩(wěn)定可靠，同時(shí)工藝簡(jiǎn)單，安裝方便，容易實(shí)現(xiàn)，并具有很好的防水防塵密封效果。把鐵氧體磁芯做成具有兩個(gè)長(zhǎng)腿的形狀，并繞上線圈做成電感傳感器，將兩條長(zhǎng)腿卡在字輪的圓平面的兩側(cè)。在垂直于字輪的圓平面的方向上，向字輪內(nèi)嵌入導(dǎo)磁材料塊，字輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，字輪上鑲嵌的這些導(dǎo)磁材料塊將進(jìn)入或者離開電感傳感器磁芯兩腿之間的區(qū)域。電感傳感器與字輪之間設(shè)置有防塵防水隔離層。

刻蝕后的灰化方法及磁傳感器的形成方法

申請(qǐng)?zhí)? 201410006870

【公開號(hào)】CN103730351A

【公開日】2014.04.16

【分類號(hào)】H01L43/12; H01L21/311

【申請(qǐng)日】2014.01.07

【申請(qǐng)人】上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司

【發(fā)明人】張振興;奚裴;熊磊

【摘 要】一種刻蝕后的灰化方法及磁傳感器的形成方法?？涛g后的灰化方法包括：提供基底，基底表面具有刻蝕形成的氮化鉭層，氮化鉭層表面具有光刻膠層，作為刻蝕氮化鉭層的掩膜；刻蝕完成后，對(duì)光刻膠層進(jìn)行灰化工藝?；一に嚨幕一瘹怏w包括氧氣和含氟的刻蝕氣體，溫度范圍≤150℃，射頻功率范圍≤500W。由于灰化氣體包括氧氣和含氟的刻蝕氣體，從而能完全去除氮化鉭層表面的光刻膠層，且可以降低灰化工藝對(duì)氮化鉭層和基底所造成的損傷。

一種井下微震監(jiān)測(cè)深孔傳感器安裝裝置

申請(qǐng)?zhí)? 201420015478

【公開號(hào)】CN203658593U

【公開日】2014.06.18

【分類號(hào)】G01V1/40

【申請(qǐng)日】2014.01.11

【申請(qǐng)人】玉溪大紅山礦業(yè)有限公司

【發(fā)明人】彭朝偉;余正方;李波

【摘 要】本實(shí)用新型公開一種井下微震監(jiān)測(cè)深孔傳感器安裝裝置，包括引繩定位管、牽引繩、監(jiān)測(cè)傳感器。牽引繩設(shè)置于引繩定位管內(nèi)，監(jiān)測(cè)傳感器固定于引繩定位管，牽引繩穿過引繩定位管且一端頭固定。通過牽引繩將引繩定位管放置入垂直深孔內(nèi)，再使用引繩定位管準(zhǔn)確的將監(jiān)測(cè)傳感器安裝于指定的位置，同時(shí)可根據(jù)要求對(duì)監(jiān)測(cè)傳感器進(jìn)行準(zhǔn)確定位，提高了監(jiān)測(cè)模型的精度與準(zhǔn)確度，將信號(hào)電纜設(shè)置于引繩定位管內(nèi)避免了倒入混凝土?xí)r，混凝土下墜對(duì)傳感器與信號(hào)線纜的損壞。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊，觀測(cè)成果高，可靠性強(qiáng)，便于安裝維護(hù)，降低生產(chǎn)成本，提高了企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益。

鐵磁材料微振動(dòng)傳感器件

申請(qǐng)?zhí)? 201420023329

【公開號(hào)】CN204128676U

【公開日】2015.01.28

【分類號(hào)】G01H11/02

【申請(qǐng)日】2014.01.02

【申請(qǐng)人】高劍森;高浩博

【發(fā)明人】高劍森;高浩博

【摘 要】鐵磁材料微振動(dòng)傳感器件由兩個(gè)高磁導(dǎo)率“U”型鐵氧體磁芯、線圈和外顯設(shè)備組成，能夠?qū)h(huán)境的低頻微幅機(jī)械振動(dòng)轉(zhuǎn)換為較強(qiáng)的電信號(hào)，供外顯設(shè)備檢測(cè)。主要包括：2個(gè)鐵氧體磁芯、氣隙、線圈、塑料盒、外顯設(shè)備。在第一個(gè)鐵氧體磁芯上繞上線圈，并將它們一起固定在塑料盒的底部，再將第二個(gè)鐵氧體磁芯倒置于第一個(gè)鐵氧體磁芯上，并讓第二個(gè)鐵氧體磁芯能夠在其上面做上下自由運(yùn)動(dòng)，這時(shí)線圈中產(chǎn)生的感應(yīng)電壓，通過外顯設(shè)備來檢測(cè)或者監(jiān)視。

汽車尾箱自動(dòng)開啟系統(tǒng)與方法及傳感器裝置

申請(qǐng)?zhí)? 201410005463

【公開號(hào)】CN103745514A

【公開日】2014.04.23

【分類號(hào)】G07C9/00

【申請(qǐng)日】2014.01.03

【申請(qǐng)人】廣東鐵將軍防盜設(shè)備有限公司

【發(fā)明人】李植滔

【摘 要】本發(fā)明涉及一種汽車尾箱自動(dòng)開啟系統(tǒng)，包括：安裝于汽車絕緣體后保險(xiǎn)杠內(nèi)側(cè)面的傳感器裝置，與傳感器裝置電性連接并且安裝于汽車上的PEPS控制器，用于供PEPS控制器認(rèn)證車主身份信息的智能鑰匙，以及用于驅(qū)動(dòng)汽車尾箱蓋開啟的尾箱控制模塊。其中，傳感器裝置包括控制單元和至少兩個(gè)安裝于后保險(xiǎn)杠的電容感應(yīng)件。本發(fā)明能夠自動(dòng)識(shí)別車主身份，并根據(jù)傳感器裝置檢測(cè)到的踢腳動(dòng)作信號(hào)來自動(dòng)打開尾箱蓋，有使用方便、安全性高、可靠好，并且完全防水的特點(diǎn)。此外，本發(fā)明還涉及一種傳感器裝置和一種實(shí)施上述汽車尾箱自動(dòng)開啟系統(tǒng)的汽車尾箱自動(dòng)開啟方法。