李燕

摘要：本文介紹了熱噴式噴墨打印機(jī)噴墨技術(shù)的基本知識及其專利技術(shù)，分析噴墨技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢。

關(guān)鍵詞：熱噴;打印機(jī);噴墨;專利

1.概述

熱噴式噴墨技術(shù)是讓墨水通過細(xì)噴嘴，在加熱電阻的作用下，將噴頭管道中的一部分墨汁氣化，形成一個(gè)氣泡，并將噴嘴處的墨水頂出噴到輸出介質(zhì)表面，形成圖案或字符，所以這種噴墨打印機(jī)有時(shí)又被稱為氣泡打印機(jī)。

2.熱噴式噴墨技術(shù)

圖1所示是典型的熱噴式墨水噴射記錄頭（參見JP特開平4-211954A），該記錄頭包括-具有一些噴口41（墨水噴射出口）的噴口板40，-具有一些與各自噴口連通的墨水通道槽401的頂板400，以及-具有一些能量產(chǎn)生元件101的加熱板100，該加熱板100用于液體噴射并構(gòu)成所述墨水通道的一部分。

在JP特開平4-211954A專利申請中，申請人提到了熱噴式墨水噴射記錄裝置的以下幾個(gè)優(yōu)點(diǎn)：

（1）用于噴射所述記錄液滴以形成漂浮液滴的上述那些液體噴射出口（噴口），可以高密集度地配置，因此，可能獲得高分辨率記錄。

（2）配有所述那些噴射出口的一記錄頭，相對來說容易地做得小巧。

（3）可以采用IC技術(shù)及微加工技術(shù)，這兩種技術(shù)在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中獲得顯著進(jìn)展，可靠性不斷提高。

（4）所述記錄頭可相對容易地配置于一細(xì)長的或二維的結(jié)構(gòu)中。

（5）可相對容易地獲得一高密集度的多噴口結(jié)構(gòu)，這種結(jié)構(gòu)在大批量的生產(chǎn)中有很好的生產(chǎn)率且制造成本較低。

從熱效率的角度出發(fā)，保護(hù)層具有高熱導(dǎo)率或小的厚度是?有利的。然而，從保護(hù)與發(fā)熱電阻器相連的配線免受墨侵襲的?角度出發(fā)，保護(hù)層具有大的厚度是有利的。因此，從能量效率和可靠性的角度出發(fā)，必須將保護(hù)層的厚度設(shè)置為最佳厚度。?特別是與墨接觸的層受由于墨的發(fā)泡造成的氣穴破壞即機(jī)械破壞和由于在高溫下與墨組分的化學(xué)反應(yīng)造成的破壞即化學(xué)破壞兩者的影響，因此機(jī)械破壞和化學(xué)破壞的影響需要充分考慮。

圖1?典型熱噴式墨水噴射記錄頭

因此，噴墨基板的保護(hù)層通常包括對機(jī)械破壞和化學(xué)破壞具有高穩(wěn)定性的上層（即，與墨接觸的層），以及用于保護(hù)配線?的下絕緣層。具體而言，通常形成機(jī)械上和化學(xué)上都極其穩(wěn)定的Ta層作為上層，形成可通過現(xiàn)有的半導(dǎo)體制造設(shè)備容易形成?并穩(wěn)定的SiN層、SiO層或SiC層作為下層。在這種構(gòu)造的情況下，同時(shí)滿足對噴墨基板發(fā)熱電阻器的壽命和可靠性的要求。

在JP特開2008-173965A專利申請中，申請人使用主要由氮化硅、氧化?硅或碳化硅如SiN、SiO或SiC組成的下絕緣層而不使用上述包括上層和下層的保護(hù)層中的上層來構(gòu)成保護(hù)層。這種構(gòu)造提供?了熱效率方面的優(yōu)點(diǎn)，并且其也是有利的，這是由于簡化了層構(gòu)造，所以可以最小化或避免成本的增加以及最小化或避免由?于層缺陷造成的產(chǎn)量降低。

圖2A和2B是示意性地示出設(shè)置在施加根據(jù)JP特開2008-173965A的墨的噴墨頭上的噴嘴部分的圖。圖2A是示出從噴嘴的噴射口側(cè)觀察?時(shí)噴嘴H2112形狀的圖。圖2B是示出沿圖2A的虛線IVB-IVB剖切的橫截面圖。在圖2B中，附圖標(biāo)記H2101表示硅基板，附圖?標(biāo)記H2102表示由熱氧化物層構(gòu)成的蓄熱層。另外，附圖標(biāo)記?H2103表示也起蓄熱作用并由氧化硅層或氮化硅層構(gòu)成的層間層，附圖標(biāo)記H2104表示抗發(fā)熱層，附圖標(biāo)記H2105表示由金屬?材料如Al、Al-Si或Al-Cu構(gòu)成配線的金屬配線層。另外，附圖標(biāo)記H2106表示由氧化硅層、氮化硅層或碳化硅層構(gòu)成并還用?作絕緣層的保護(hù)層。特別是由于保護(hù)層H2106與墨直接接觸，?因此要求該保護(hù)層對堿化學(xué)穩(wěn)定并具有對物理沖擊的充分的耐受性，而且存在為該層提供電絕緣性的很大的必要性。因此，氮化硅層或碳化硅層能夠尤其適合用作形成該層的材料。

3.噴墨打印機(jī)噴墨技術(shù)的發(fā)展趨勢

（1）打印速度更快。分辨率的高低與打印速度的快慢似乎是一對天生的“冤家”，要是將噴墨打印機(jī)的輸出分辨率設(shè)置得過高的話，那么打印相同幅面要噴墨的點(diǎn)數(shù)將大大增多，打印速度自然就會受到影響，如何才能“魚和熊掌兼得”呢？為此，新型的噴墨打印機(jī)將會利用雙向打印技術(shù)以及給噴墨打印機(jī)增加噴嘴數(shù)量的方法，來使噴墨打印機(jī)在保持較高輸出分辨率的基礎(chǔ)上，提高打印機(jī)的輸出速度。

（2）分辨率更高。使用熱噴墨技術(shù)打印技術(shù)的打印機(jī)一般以600的倍數(shù)作為分辨率，比如1200x600dpi這樣的格式，隨著人們對打印色彩要求的逐步提高，新型的噴墨打印機(jī)將會使噴打的分辨率提高的一個(gè)更高的水平，噴墨打印機(jī)將能處理色彩要求更高、圖象細(xì)節(jié)更全的圖象或者照片打印要求。

（3）墨滴控制更精確。墨滴的大小以及墨滴的形狀對噴墨打印機(jī)的輸出質(zhì)量是有很大影響的，如果不能精確地控制這些墨滴在打印紙上的形狀和大小，將會降低打印輸出效果。為此新型的高檔打印機(jī)都對如何精確控制墨滴形狀和大小進(jìn)行了努力研究和探索，并推出了新興星形噴嘴技術(shù)，來達(dá)到精確控制墨滴形狀和大小的目的，從而使圖象打印或者照片打印效果更為逼真、清晰。

（4）實(shí)現(xiàn)零顆粒打印。為了消除噴墨打印機(jī)輸出幅面上的墨點(diǎn)顆粒形狀，并能夠?qū)崿F(xiàn)多重色控打印，那么就需要降低噴墨墨水的濃度以及減小噴墨墨滴中所包含的墨水的容量，同時(shí)能夠?qū)ν幌袼攸c(diǎn)進(jìn)行多次的噴墨，只有這樣打印機(jī)的輸出效果才能更為逼真。