隨著消費(fèi)電子產(chǎn)品的不段創(chuàng)新，受益于智能手機(jī)和平板電腦的快速發(fā)展，微機(jī)電（MEMS）應(yīng)用已經(jīng)悄然滲透進(jìn)入消費(fèi)者的生活。從游戲市場(chǎng)的加速度計(jì)，到手機(jī)上的陀螺儀、觸摸屏上的壓力傳感器、麥克風(fēng)，到智能家居中的紫外傳感器、濕度傳感器，盡管并不常被人們關(guān)注，但MEMS技術(shù)在過去的15年中經(jīng)歷了翻天覆地的變化。

從三星曲面屏幕Edge系列的觸摸屏驅(qū)動(dòng)芯片，到魅藍(lán)手機(jī)的加速度陀螺儀慣性MEMS，再到最新上市的LG G4手機(jī)攝像頭搭載的光學(xué)測(cè)距傳感器，在短短的10年時(shí)間內(nèi)，意法半導(dǎo)體（ST）早已憑借在MEMS傳感器領(lǐng)域的創(chuàng)新，在消費(fèi)電子市場(chǎng)打下了一大片江山。

意法半導(dǎo)體2005年研發(fā)出的加速度傳感器，用于任天堂等游戲機(jī)產(chǎn)品中，引發(fā)了MEMS作為消費(fèi)類產(chǎn)品的爆發(fā)。后續(xù)意法半導(dǎo)體又推出了陀螺儀、二合一的6軸慣性模塊、壓力傳感器。目前，意法半導(dǎo)體的 MEMS麥克風(fēng)現(xiàn)在也以市場(chǎng)井噴狀態(tài)發(fā)生。

在MEMS的技術(shù)分類中，目前主流分為兩種類型——傳感器和執(zhí)行器。根據(jù)IC Insights的數(shù)據(jù)，2014年傳感器出貨量達(dá)111億顆，其中MEMS傳感器約占34%，而9.99億顆執(zhí)行器中絕大多數(shù)都是MEMS傳感器。

意法半導(dǎo)體所提到的新產(chǎn)品，包括聯(lián)想Yoga筆記本電腦中采用的英特爾和意法半導(dǎo)體一起開發(fā)的英特爾RealSense。RealSense的模組里有個(gè)紅外發(fā)射器，所采用的關(guān)鍵技術(shù)就是意法半導(dǎo)體用MEMS執(zhí)行器技術(shù)做的微鏡。這個(gè)執(zhí)行器推動(dòng)鏡子的轉(zhuǎn)動(dòng)反射光，進(jìn)行逐行掃描，再通過接收器實(shí)時(shí)記錄，從而實(shí)現(xiàn)手勢(shì)識(shí)別、三維識(shí)別、指紋識(shí)別、人臉識(shí)別等功能。

按照Benedetto Vigna的描述，目前MEMS微執(zhí)行器所采用的技術(shù)主要包括4種：壓電技術(shù)，可應(yīng)用于自動(dòng)快速對(duì)焦相機(jī)鏡頭和噴墨打印頭中；熱學(xué)溫控技術(shù)，可應(yīng)用于傳統(tǒng)噴墨答應(yīng)頭和MEMS微射流執(zhí)行器中；靜電技術(shù)和電磁技術(shù)，用于微型反射鏡（聯(lián)想Yoga筆記本電腦使用的）、免觸控用戶界面和超極本投影中。

Benedetto Vigna向記者指出，意法半導(dǎo)體非常看好MEMS微執(zhí)行器市場(chǎng)，將會(huì)繼續(xù)投入大量研發(fā)實(shí)力、人力物力去開拓技術(shù)，利用微執(zhí)行器研發(fā)出更多的創(chuàng)新應(yīng)用和產(chǎn)品。但他同時(shí)也表示，這個(gè)市場(chǎng)才剛剛起步，到真正市場(chǎng)爆發(fā)點(diǎn)還會(huì)有一段時(shí)間。

事實(shí)上，與傳感器相對(duì)應(yīng)的執(zhí)行器市場(chǎng)，曾經(jīng)歷過如同過山車般的跌宕。根據(jù)IC Insights數(shù)據(jù)，2011年執(zhí)行器市場(chǎng)曾經(jīng)達(dá)到過歷史最高紀(jì)錄37億美元，但從2012年開始市場(chǎng)經(jīng)歷大幅度萎縮，2012年執(zhí)行器銷售額同比下降10%，2013年同比再降4%，到2014年才回歸增長(zhǎng)，銷售額達(dá)到35億美元。但正如意法半導(dǎo)體所期待的，這一市場(chǎng)目前已回歸增長(zhǎng)，預(yù)計(jì)2015年執(zhí)行器銷售額將同比增長(zhǎng)7%，再次達(dá)到37億美元。

Benedetto Vigna認(rèn)為，執(zhí)行器市場(chǎng)之所以經(jīng)歷這種變化，是因?yàn)橐恢币詠沓鲇谝?guī)模效應(yīng)對(duì)于生產(chǎn)的成熟度，市場(chǎng)無法特別信任執(zhí)行器生產(chǎn)的生熟度;技術(shù)的應(yīng)用和產(chǎn)品沒有達(dá)到發(fā)展的節(jié)點(diǎn)。但他認(rèn)為，現(xiàn)在已經(jīng)達(dá)到了這個(gè)應(yīng)用的節(jié)點(diǎn)。