■ 白 松 洪曉明 劉利君 孟祥軍

氣壯華夏 追逐夢(mèng)想
—— 中船重工第七一八研究所特種氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展紀(jì)實(shí)

■ 白 松 洪曉明 劉利君 孟祥軍

中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所已建成全國(guó)最大的半導(dǎo)體、液晶用特種氣體研發(fā)生產(chǎn)基地。本世紀(jì)初，在我國(guó)加快推進(jìn)軍民融合的引領(lǐng)下，“特氣人”瞄準(zhǔn)民族工業(yè)發(fā)展需求，力破國(guó)外壟斷優(yōu)勢(shì)；在軍工技術(shù)中不斷激發(fā)創(chuàng)新活力，在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中不斷開拓進(jìn)取，在降本增效上不斷深化提升；以國(guó)家戰(zhàn)略發(fā)展為己任，承擔(dān)國(guó)家02專項(xiàng)，肩負(fù)起完善半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈、奠定發(fā)展基礎(chǔ)的重任。走出一條從無(wú)到有，從小到大，由弱到強(qiáng)的發(fā)展之路，為國(guó)家科技強(qiáng)國(guó)戰(zhàn)略，加快重點(diǎn)行業(yè)關(guān)鍵產(chǎn)品進(jìn)口替代做出了積極貢獻(xiàn)。

高純?nèi)胤N氣體，作為清洗劑和蝕刻劑被廣泛用于半導(dǎo)體、液晶面板及薄膜太陽(yáng)能制造等產(chǎn)業(yè)，是現(xiàn)代化電子行業(yè)中極為重要的生產(chǎn)原料。2014年，三氟化氮全球市場(chǎng)發(fā)展與調(diào)整并存，出現(xiàn)因生產(chǎn)線老化停產(chǎn)、以及半導(dǎo)體技術(shù)升級(jí)需求增加導(dǎo)致的供求失衡，眾多半導(dǎo)體、液晶生產(chǎn)商面臨著“沒米下鍋”甚至瀕臨停產(chǎn)的不利境地，紛紛向中國(guó)唯一高純?nèi)a(chǎn)廠家，中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所（簡(jiǎn)稱七一八所）要求增加氣體供貨量，甚至表示加價(jià)提貨。面對(duì)如此誘惑，七一八所做出確保國(guó)內(nèi)中資企業(yè)用氣所需，適量均衡外方需求，嚴(yán)格按協(xié)議價(jià)格供貨的營(yíng)銷策略，力保我國(guó)企業(yè)在此次貨源危機(jī)中平穩(wěn)渡過(guò)。在經(jīng)濟(jì)利益和社會(huì)責(zé)任前，再次展現(xiàn)了軍工人一貫的責(zé)任與擔(dān)當(dāng)。

回看七一八所特種氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展歷程，在我國(guó)加快推進(jìn)軍民融合的引領(lǐng)下，“特氣人”瞄準(zhǔn)民族工業(yè)發(fā)展需求，在自有軍工技術(shù)中不斷激發(fā)創(chuàng)新活力，逐步建立適應(yīng)市場(chǎng)需求的特種氣體產(chǎn)業(yè)規(guī)模，在質(zhì)量成本上不斷深化管理提升，走出一條從無(wú)到有，從小到大，由弱到強(qiáng)的發(fā)展之路，為國(guó)家科技強(qiáng)國(guó)戰(zhàn)略，加快重點(diǎn)行業(yè)關(guān)鍵產(chǎn)品進(jìn)口替代做出了積極貢獻(xiàn)。

自主研發(fā) 力破壟斷

隨著半導(dǎo)體和液晶面板等電子產(chǎn)品的使用日漸普及，三氟化氮等特種氣體消耗量增長(zhǎng)迅猛。本世紀(jì)初，以美、日、韓為代表的主要生產(chǎn)國(guó)，利用產(chǎn)業(yè)鏈的主導(dǎo)優(yōu)勢(shì)，以戰(zhàn)略物資為由對(duì)中國(guó)進(jìn)口三氟化氮進(jìn)行嚴(yán)格管控，國(guó)家電子工業(yè)發(fā)展十分艱難。

七一八所對(duì)三氟化氮?dú)怏w的研制，最早可追溯到上世紀(jì)八十年代初期，每年為自有軍工項(xiàng)目生產(chǎn)少量純度要求不高的三氟化氮?dú)怏w。本世紀(jì)初，為破解壟斷危機(jī)搶抓市場(chǎng)機(jī)遇，七一八所果斷組建特種氣體工程部，立項(xiàng)開展高純?nèi)胤N氣體及其生產(chǎn)工藝的研發(fā)。2001年8月，成立了三氟化氮產(chǎn)業(yè)發(fā)展籌備領(lǐng)導(dǎo)小組；12月，為攻克氣體制備中的技術(shù)瓶頸，又成立三氟化氮項(xiàng)目擴(kuò)產(chǎn)領(lǐng)導(dǎo)小組和現(xiàn)場(chǎng)工作組；2002年9月，成功研制出99.99%的三氟化氮?dú)怏w；12月，七一八所自主研發(fā)的高純?nèi)胤N氣體，通過(guò)新產(chǎn)品鑒定，產(chǎn)品性能達(dá)到國(guó)際同類產(chǎn)品的先進(jìn)水平。

特種電子氣體對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝、設(shè)備運(yùn)行乃至產(chǎn)品質(zhì)量會(huì)產(chǎn)生重要的影響和制約作用，隨著電子技術(shù)向高性能、多功能、大容量、微型化方向發(fā)展，對(duì)電子氣體提出了更高的技術(shù)要求?！疤貧馊恕眻?jiān)信外國(guó)能做到的，中國(guó)也能做。通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新和工藝完善，2006年將三氟化氮?dú)怏w純度進(jìn)一步提高到99.995%和99.999%的新高度，一舉站在了世界同類產(chǎn)品的頂峰。國(guó)產(chǎn)高純?nèi)胤N氣體成功問世，徹底打破了日、美、韓等國(guó)的技術(shù)壟斷和價(jià)格控制，結(jié)束了我國(guó)長(zhǎng)期依賴進(jìn)口受制于人的歷史，國(guó)內(nèi)三氟化氮?dú)怏w采購(gòu)價(jià)格降幅陸續(xù)達(dá)70%以上，比起單純依賴進(jìn)口，僅電子行業(yè)便可每年為國(guó)家節(jié)省外匯幾十億元。由原材料價(jià)格下降帶來(lái)的終端消費(fèi)品價(jià)格降幅同樣顯著，以液晶電視為例，原先一臺(tái)40寸液晶電視的價(jià)格動(dòng)輒上萬(wàn)，現(xiàn)在也僅需花費(fèi)五千元左右。

高純?nèi)胤N氣體取得快速發(fā)展的同時(shí)，七一八所積極跟蹤國(guó)際氟化工前沿技術(shù)，從未停止過(guò)探索新技術(shù)研發(fā)新產(chǎn)品的步伐。從2003年始，先后立項(xiàng)開展高純六氟化鎢、高純氘氣、三氟甲磺酸、高純銨等20多種高純特種氣體的研發(fā)工作。2008年，開始將一部分特種氣體小批量投放市場(chǎng)，顯示出良好的市場(chǎng)前景。

七一八所特種氣體項(xiàng)目先后列入國(guó)家重點(diǎn)新產(chǎn)品、國(guó)家火炬計(jì)劃、國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)品和國(guó)家02重大專項(xiàng)。目前，已組建成立“河北省特種氣體工程技術(shù)研究中心”，獲得國(guó)家發(fā)明專利授權(quán)9項(xiàng)，特種氣體產(chǎn)能達(dá)到1500噸/年，成為全國(guó)最大的半導(dǎo)體、液晶用特種氣體研發(fā)生產(chǎn)基地，一舉躋身國(guó)際前列。

韜光養(yǎng)晦 破繭成蝶

橫空出世的國(guó)產(chǎn)高純?nèi)忍胤N氣體，雖然在產(chǎn)品質(zhì)量上毫不遜色國(guó)外同類產(chǎn)品，但與當(dāng)時(shí)國(guó)際巨頭同臺(tái)競(jìng)技、同市競(jìng)價(jià)的步履卻姍姍來(lái)遲。七一八所研發(fā)的高純特種氣體，起初因名不見經(jīng)傳，市場(chǎng)拓展十分困難：國(guó)際上，日、美、韓三國(guó)壟斷著全球電子行業(yè)的供給鏈，生產(chǎn)廠家不敢輕易更換重要的生產(chǎn)原料；國(guó)內(nèi)因從未有過(guò)生產(chǎn)廠家，產(chǎn)品一時(shí)間得不到認(rèn)可。面對(duì)市場(chǎng)準(zhǔn)入的重重避壘，為在最短時(shí)間內(nèi)打進(jìn)市場(chǎng)，七一八所將營(yíng)銷策略定位貼牌生產(chǎn)。2003年12月，經(jīng)日本某知名氣體供貨商的嚴(yán)格檢驗(yàn)，七一八所自主研發(fā)生產(chǎn)的高純?nèi)胤N氣體在產(chǎn)品質(zhì)量、氣體純度和穩(wěn)定性等方面全部符合要求，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。隨后，該企業(yè)與七一八所達(dá)成貼牌生產(chǎn)、包銷所有產(chǎn)品的協(xié)議，產(chǎn)品幾乎全部銷售到國(guó)外公司，部分產(chǎn)品再被貼牌返銷到中國(guó)市場(chǎng)。

寶劍鋒從磨礪出，梅花香自苦寒來(lái)。起初國(guó)產(chǎn)三氟化氮由于知名度不高，在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)上沒有絲毫“話語(yǔ)權(quán)”。然而“特氣人”始終堅(jiān)持不懈地開拓市場(chǎng)，通過(guò)積極參加國(guó)內(nèi)外會(huì)展和行業(yè)會(huì)議、主動(dòng)與國(guó)內(nèi)外經(jīng)銷商和直接用戶聯(lián)系、不間斷走訪用氣廠家等多渠道進(jìn)行市場(chǎng)拓展。因產(chǎn)品知名度低，連銷售人員也回憶不清讓人家多少次拒之門外，甩過(guò)多少冷臉，坐過(guò)多少冷板凳。2006年，終于獲得兩家世界知名氣體公司的訂單，擺脫了單一客戶的尷尬局面。2007年，又與4家比較知名的國(guó)際采購(gòu)商建立合作關(guān)系?！疤貧馊恕笔冀K在等待一個(gè)能以自身面目展現(xiàn)世人的機(jī)會(huì)。

2008年，國(guó)際金融危機(jī)蔓延全球，三氟化氮消費(fèi)市場(chǎng)由于價(jià)格下行造成停產(chǎn)減產(chǎn)引發(fā)的供應(yīng)缺口逐步顯現(xiàn)。大浪淘沙，真金始現(xiàn)。“特氣人”危中見機(jī)，將眼光鎖定在尋求國(guó)內(nèi)商機(jī)，通過(guò)合理讓利促使眾多的廠商試用自己的產(chǎn)品，積極開展準(zhǔn)入認(rèn)證。功夫不負(fù)有心人，七一八所實(shí)現(xiàn)了以自己的品牌：派瑞（PERIC），冠名自己生產(chǎn)的特種氣體，以為國(guó)內(nèi)知名集成電路生產(chǎn)商直接供貨作為開端，由點(diǎn)帶面順利鋪開。截至目前，派瑞特種氣體已實(shí)現(xiàn)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體和液晶面板廠商的用戶全覆蓋，三氟化氮市場(chǎng)占有率接近50%。

從立項(xiàng)研發(fā)到貼牌生產(chǎn)，再以派瑞（PERIC）特種氣體品牌亮劍市場(chǎng)，榮譽(yù)光環(huán)的背后飽含著干部職工們夜以繼日的汗水和辛酸?！芭扇穑≒ERIC）特種氣體”的加入，使得國(guó)外廠商在國(guó)內(nèi)銷售的優(yōu)勢(shì)消失殆盡，國(guó)際三氟化氮供給格局重新洗牌，七一八所三氟化氮生產(chǎn)線一直保持滿產(chǎn)狀態(tài)，倉(cāng)庫(kù)基本處于零庫(kù)存狀態(tài)。

降本增效 以人為本

初來(lái)乍到的派瑞特種氣體無(wú)疑是初生牛犢，國(guó)產(chǎn)高純?nèi)拈W亮登場(chǎng)雖引來(lái)“高光”無(wú)數(shù)，然而若想與國(guó)際高手長(zhǎng)期同臺(tái)競(jìng)技卻絕非易事。產(chǎn)業(yè)規(guī)模、生產(chǎn)成本、人才水平等諸多實(shí)實(shí)在在的差距使生產(chǎn)成本起初難以與同業(yè)對(duì)手相比擬，上市之初還能保持較好的利潤(rùn)，然而由三氟化氮消費(fèi)需求帶動(dòng)產(chǎn)能的增長(zhǎng)也非常迅速，好景不長(zhǎng)，2005年，三氟化氮產(chǎn)品價(jià)格開始走低；2007年，國(guó)外三氟化氮生產(chǎn)巨頭率先發(fā)起價(jià)格戰(zhàn)，三氟化氮售價(jià)大幅下降，多數(shù)廠商的售價(jià)都逼近了成本邊緣。

以降低成本為目標(biāo)，有些企業(yè)選擇裁減人員、使用廉價(jià)原料、甚至降低產(chǎn)品品質(zhì)的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)，七一八所選擇牢牢抓住以人為本的核心，逐步完善與發(fā)展相適應(yīng)的管理制度，最大限度激發(fā)調(diào)動(dòng)全員的創(chuàng)新活力，扎扎實(shí)實(shí)地將降本增效工作落到實(shí)處，連續(xù)多年成本降幅在一成以上，硬生生將成本從劣勢(shì)做成為又一核心競(jìng)爭(zhēng)力。

薪酬體系的變革取得了最明顯的效果。通過(guò)將長(zhǎng)期開展的工藝、質(zhì)量、操作技能等職業(yè)教育培訓(xùn)成果與工資等級(jí)掛鉤，定期開展晉級(jí)和保級(jí)考試：職工每通過(guò)相應(yīng)職級(jí)的考試便可晉升職級(jí)，體現(xiàn)在工資回報(bào)中，保級(jí)考試制度則有效杜絕了“不思進(jìn)取”和技能退化的現(xiàn)象，建立了能上能下的薪酬體系；績(jī)效方面，將獎(jiǎng)金與若干主要效益參數(shù)直接掛鉤；加大對(duì)創(chuàng)新成果、技改措施獎(jiǎng)勵(lì)的力度：凡有對(duì)優(yōu)化工藝、降本增效等改善投入產(chǎn)出和效率的技改措施予以表彰獎(jiǎng)勵(lì)。如此一來(lái)，職工從技改成果中不僅可以獲得一次性獎(jiǎng)勵(lì)，提升的生產(chǎn)效益也將長(zhǎng)期體現(xiàn)在績(jī)效收益中。制度的完善使員工收益與企業(yè)效益緊密聯(lián)系在一起，大到設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行、小到參數(shù)的輕微波動(dòng)都與職工的收入息息相關(guān)。

再好的制度沒有公平嚴(yán)格的尺度也很難發(fā)揮積極的效果。起初個(gè)別職工對(duì)新制度較為抵觸，有的考試差幾分不夠晉級(jí)來(lái)找領(lǐng)導(dǎo)說(shuō)情，管理人員頂住壓力，一次都沒有變通；獎(jiǎng)勵(lì)上堅(jiān)持用數(shù)據(jù)說(shuō)話，產(chǎn)率提高多少、效率提升多少，必須看得直觀、說(shuō)的明白。時(shí)間久了，大家對(duì)制度的公平和權(quán)威有了認(rèn)可，提高收入也找到了明確的方向，漸漸地，傳統(tǒng)企業(yè)那種“好往領(lǐng)導(dǎo)身上使勁”現(xiàn)象減少了，為改進(jìn)效益而刻苦鉆研的員工多了，大家都朝著提高交貨量和投入產(chǎn)出使勁，思想高度統(tǒng)一。

采訪中，筆者曾詢問主管生產(chǎn)的負(fù)責(zé)人通過(guò)哪些改進(jìn)降低了成本。思維片刻，他不好意思地笑著說(shuō)：“真的不好說(shuō)，太多了，如今創(chuàng)新和技改不僅僅是科技人員關(guān)注，一線職工的熱情同樣高漲。職工的效益觀念變強(qiáng)了，一方面不斷通過(guò)學(xué)習(xí)培訓(xùn)自我提升，同時(shí)也在用新的知識(shí)改進(jìn)生產(chǎn)，每位職工都變得善于思考，不懂就學(xué)就問。各類技改每年多達(dá)幾十項(xiàng)，大大小小匯集起來(lái)能降低成本一成以上，生產(chǎn)線整體已進(jìn)入第四代工藝水平。近兩年成功引入了ERP和OA系統(tǒng)，全員參與下效率提高顯著，有的車間原先需要十多個(gè)崗位，現(xiàn)在只要四個(gè)就夠了。如果讓三四年前的工人一下子穿越到現(xiàn)在，可能操作起來(lái)都無(wú)從下手。成本是我們的優(yōu)勢(shì)，優(yōu)勢(shì)的核心其實(shí)是人。”

諸如此類的管理提升還有很多。幾年間，七一八所特氣產(chǎn)業(yè)在激烈的外部競(jìng)爭(zhēng)環(huán)境中始終保持著內(nèi)部的良性運(yùn)轉(zhuǎn)，職工的素質(zhì)、貢獻(xiàn)和收入不斷提高，勞動(dòng)的強(qiáng)度卻不斷降低。數(shù)據(jù)顯示，七一八所特氣產(chǎn)業(yè)人均收入年均增長(zhǎng)15%，人力成本占產(chǎn)值比重逐年下降15.3%，人均GDP年均增幅39%，已達(dá)到世界先進(jìn)企業(yè)水平。2013-14年，三氟化氮等特種氣體在市場(chǎng)需求強(qiáng)勁增長(zhǎng)的態(tài)勢(shì)下，卻因競(jìng)爭(zhēng)激烈導(dǎo)致了美日韓三國(guó)的生產(chǎn)企業(yè)出現(xiàn)不同程度的產(chǎn)能調(diào)整。派瑞（PERIC）特種氣體，憑借不斷優(yōu)化的生產(chǎn)工藝和日漸成熟的精益管理，將生產(chǎn)成本牢牢壓在市場(chǎng)售價(jià)之下，始終保留了合理的利潤(rùn)空間，延續(xù)著滿產(chǎn)、擴(kuò)產(chǎn)的良好狀態(tài)。經(jīng)歷了市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)戰(zhàn)火的洗禮，卻換得百煉成鋼之身，在當(dāng)前國(guó)家工業(yè)深度調(diào)整的發(fā)展格局中，依然取得傲人的成績(jī)。

立志高遠(yuǎn) 追逐夢(mèng)想

“特氣人”憑借軍工人不怕吃苦，敢為人先的拼搏精神，在高純電子氣體領(lǐng)域不斷求真探索，與高手共舞。他們深深明白，要想在特種氣體領(lǐng)域不受制于人，除了要不斷依靠創(chuàng)新完成自我超越，還要責(zé)無(wú)旁貸地?fù)?dān)當(dāng)起推動(dòng)高新科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重任。當(dāng)前，中國(guó)已經(jīng)成為全球最大的集成電路市場(chǎng)，然而國(guó)產(chǎn)芯片仍面臨自給率嚴(yán)重不足的尷尬境地，2014年中國(guó)集成電路進(jìn)口遠(yuǎn)超石油成為第一大進(jìn)口商品，達(dá)到2865億美元，進(jìn)出口逆差達(dá)上千億美元。國(guó)產(chǎn)芯片的制造工藝水平相對(duì)落后，高端芯片及高純電子特種氣體幾乎全部依賴進(jìn)口，難以對(duì)構(gòu)建國(guó)家產(chǎn)業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力、保障信息安全形成有力支撐。

在嚴(yán)峻的發(fā)展形勢(shì)和緊迫的國(guó)產(chǎn)化需求下，2013年1月，由第七一八研究所牽頭，聯(lián)合相關(guān)單位承擔(dān)的“高純電子氣體研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目，正式立項(xiàng)列入國(guó)家“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國(guó)家重大科技專項(xiàng)(簡(jiǎn)稱02專項(xiàng))。該項(xiàng)目主要研究開發(fā)集成電路制造工藝用特種氣體制備關(guān)鍵共性技術(shù)，有望從根本上改變當(dāng)前我國(guó)高純電子氣體嚴(yán)重依賴進(jìn)口的現(xiàn)狀，完善半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，有力推動(dòng)我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)的整體進(jìn)步。七一八所牽頭承擔(dān)28項(xiàng)高純電子氣體和高純電子混合氣的研制任務(wù)，大多數(shù)氣體是過(guò)去沒有步足過(guò)的，科技工作者夜以繼日攻關(guān)不綴。截止目前，研制工作已經(jīng)取得階段性成果；多數(shù)氣體已經(jīng)完成樣品的制備。

2015年5月，中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司董事長(zhǎng)胡問鳴親臨七一八所視察工作時(shí)曾給予這樣的評(píng)價(jià)：七一八所是集團(tuán)公司軍民融合產(chǎn)業(yè)發(fā)展的典范。以高純?nèi)娮犹胤N氣體為代表的民品科技產(chǎn)業(yè)，依托軍工科技力量，結(jié)束了我國(guó)長(zhǎng)期依賴進(jìn)口的歷史，一舉站在了世界高度，為國(guó)家科技強(qiáng)國(guó)戰(zhàn)略提供了有力支撐；主持著國(guó)家02科技重大專項(xiàng)“高純電子氣體研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”課題的實(shí)施，要繼續(xù)圍繞國(guó)家戰(zhàn)略深入推進(jìn)軍民融合，強(qiáng)化創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)，致力為中國(guó)制造2025打造堅(jiān)實(shí)的發(fā)展基礎(chǔ)。

放眼未來(lái)，腳下的征程依然漫長(zhǎng)?！疤貧馊恕币堰~開腳下堅(jiān)實(shí)的步伐，向著建設(shè)“國(guó)家高純電子氣體工程技術(shù)研究中心”，建成我國(guó)最大、世界一流高純電子氣體產(chǎn)業(yè)基地，打造國(guó)際知名的特種氣體供應(yīng)商的夢(mèng)想，奮發(fā)前行，矢志不移。

（作者單位：中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所）