程星華，李 強

（中國電子工程設(shè)計院，北京 100142）

1 引 言

能源是人類生存和發(fā)展的基礎(chǔ)，節(jié)能環(huán)保已成為了當今時代的發(fā)展趨勢。我國是能源緊缺型的國家，節(jié)能環(huán)保的問題是中國現(xiàn)在以及未來經(jīng)濟持續(xù)發(fā)展的重中之重?！豆?jié)能減排“十二五”規(guī)劃》中提出，到2015年，全國萬元GDP能耗下降到0.869噸標準煤（按2005年價格計算），比2010年的1.034噸標準煤下降16%（比2005年的1.276噸標準煤下降32%）?！笆濉逼陂g，實現(xiàn)節(jié)約能源6.7億噸標準煤，到2015年，單位工業(yè)增加值（規(guī)模以上）能耗比2010年下降21%左右。

新型平板顯示產(chǎn)業(yè)作為新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的代表，被列為《中華人民共和國國民經(jīng)濟和社會發(fā)展第十二個五年規(guī)劃綱要》中加快培育和發(fā)展的戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)之一。平板顯示產(chǎn)業(yè)是電子信息產(chǎn)業(yè)的支柱，其發(fā)展水平既是一個國家的科技實力的體現(xiàn)，更是一個國家綜合實力的體現(xiàn)。經(jīng)過十多年的跨越式發(fā)展，我國TFT－LCD產(chǎn)業(yè)已經(jīng)從一個顯示屏完全依賴進口，發(fā)展成為一個擁有十余條生產(chǎn)線和自主知識產(chǎn)權(quán)的國家，TFT－LCD產(chǎn)業(yè)也進入了由傳統(tǒng)非晶硅（α-Si）向氧化物半導體（Oxide）、低溫多晶硅（LTPS）、有機發(fā)光顯示（AMOLED）等新技術(shù)轉(zhuǎn)型升級的快速發(fā)展時期。目前我國已經(jīng)建成投產(chǎn)的面板產(chǎn)線共計15條，其中包括4.5代線4條、5／5.5代線6條、6代線2條以及8.5代線3條，累計投資額達1821億元，預計2016年，我國還將建成8條面板生產(chǎn)線，累計投資額將超過3400億元。從產(chǎn)能面積來看，截止2013年底，中國大陸的面板供應能力約2200萬平方米，預計2014年將同比增長20%，到2016年，中國大陸面板的產(chǎn)能將超過中國臺灣地區(qū)成為全球第二［1］。中國大陸平板顯示格局從無到有，從小到大，從弱變強，已經(jīng)形成了環(huán)渤海、長三角、珠三角、中西部四大生產(chǎn)基地。隨著平板顯示產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，建設(shè)低碳、節(jié)能、環(huán)保的綠色工廠成為國內(nèi)外面板廠商追求的目標。

2 TFT-LCD工廠能源消耗特點及構(gòu)成

TFT－LCD面板項目屬于資金密集、技術(shù)密集的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，屬于精密電子器件加工制造。生產(chǎn)工序通常包括陣列制程、彩膜制程、成盒制程、模組制程，近年來新建的工廠有些還包括觸摸屏制程、OLED有機蒸鍍制程等。TFT－LCD面板生產(chǎn)過程對環(huán)境的溫濕度控制和凈化要求非常高，對于水、電、氣的消耗量也較大，具有投資規(guī)模大、廠房體量大、工藝流程復雜、自動化程度高、廠務系統(tǒng)復雜、能源及耗能工質(zhì)種類多、污染物種類多、排放量較大等特點。以建設(shè)一條月產(chǎn)能為100kSheet的8.5代TFT－LCD面板生產(chǎn)線為例，投資金額超過250億元，年運行耗電量超過10億度，年耗水量超過800萬噸，年耗天然氣近300萬立方米，年綜合能耗（當量值）約為20萬噸標準煤，綜合能耗（等價值）約為40萬噸標準煤。盡管TFT－LCD行業(yè)不像石化、冶金、鋼鐵、水泥等行業(yè)耗能巨大，但在電子行業(yè)屬于耗能大戶，因此分析TFT－LCD項目能源消耗特點、優(yōu)化能源消費結(jié)構(gòu)，通過采取先進、合理的節(jié)能措施，達到節(jié)能降耗、降低運行成本的目的，對于建設(shè)綠色工廠、節(jié)約社會能源資源有著重要意義。

表1 8.5代TFT-LCD工廠主要經(jīng)濟及能耗指標Tab.1 Main economic and energy consumption indicators of G 8.5TFT－LCD factory

TFT－LCD項目消耗的外購能源［2］通常包括電力、天然氣、熱力（市政蒸汽或熱水），外購耗能工質(zhì)［2－3］主要包括新鮮水（或市政再生水）、氮氣、氫氣、氧氣、氬氣、氦氣等，企業(yè)自制的耗能工質(zhì)包括純水、壓縮空氣、工藝真空、清掃真空、冷卻循環(huán)水等。其中企業(yè)自制的耗能工質(zhì)按其加工轉(zhuǎn)換所消耗的能源已計入綜合能耗［3］，不再列入耗能工質(zhì)折標煤計算。

表2 TFT-LCD工廠消耗的主要能源／耗能工質(zhì)種類及用途Tab.2 Types and purposes of main energy＆energyconsumed medium of TFT－LCD factory

在所有消耗的能源和耗能工質(zhì)中，電力是TFT－LCD項目消耗量最大的能源，一條月產(chǎn)能為100kSheet的8.5代線，年綜合能源消費量年耗電量超過10億度，按電力等價折標系數(shù)折算，約占項目綜合能耗的75%以上。電力消耗主要用于工藝設(shè)備、動力設(shè)備、消防設(shè)施、照明、以及損耗等。其次，氮氣是TFT－LCD項目消耗的主要耗能工質(zhì)，折標準煤后，約占綜合能耗比例20%，這主要是生產(chǎn)工藝的加工需求所致，氮氣作為保護氣體、反應氣體及載氣，消耗量相對較大，若生產(chǎn)技術(shù)包含有機蒸鍍OLED工序，則氮氣消耗比例將更大。主要能源及耗能工質(zhì)消耗占比見圖1所示。

圖1 TFT－LCD工廠能源及耗能工質(zhì)消耗占比Fig.1 Proportion of energy＆ energy－consumed medium of TFT－LCD factory

3 TFT-LCD工廠能源消耗及平衡分析

TFT－LCD項目生產(chǎn)工藝與半導體IC項目相似，工藝制程精密度高，器件加工線寬通常為3μm；潔凈度等級高，控制粒徑一般為0.3μm（LTPS工藝需達到0.1μm），主體環(huán)境為3.5級／4.5級，局部區(qū)域達到2.5級。由于 TFTLCD為玻璃表面加工工藝，隨著產(chǎn)線進入高世代和玻璃基板尺寸的加大，生產(chǎn)廠房體量更大，自動化程度更高，大宗氣體、特氣、化學品使用量增大，廢水、廢液、廢氣的排放量也大幅度增加。為保障工藝生產(chǎn)正常運行，圍繞生產(chǎn)工藝環(huán)境要求和動力品質(zhì)需求配套的輔助生產(chǎn)設(shè)施系統(tǒng)（廠務系統(tǒng)）是一個復雜龐大的系統(tǒng)工程，通常包括一般機電給排水系統(tǒng)、純水系統(tǒng)、工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)、生產(chǎn)廢水處理系統(tǒng)、消防系統(tǒng)、采暖空調(diào)凈化系統(tǒng)、排風系統(tǒng)、冷熱水供應系統(tǒng)、壓縮空氣供應系統(tǒng)、大宗氣體供應系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、柴油供應系統(tǒng)、天然氣供應系統(tǒng)、特種氣體供應系統(tǒng)、通信系統(tǒng)、自控系統(tǒng)、化學品存儲與分配系統(tǒng)、供配電系統(tǒng)、照明系統(tǒng)等。

TFT－LCD項目能源需求供應關(guān)系以及能量平衡和流向分析是此類項目能源消耗及節(jié)能分析的重點［4］，圖2是此類項目各體系之間的能量平衡關(guān)系網(wǎng)絡圖，從中可以捋清能源需求的因果關(guān)系，并找到影響用能量的核心和制約因素?？梢钥闯?，工藝設(shè)備的直接動力用量及種類需求（包括污染物排放）以及與生產(chǎn)設(shè)備相關(guān)的參數(shù)（包括需要系數(shù)、負荷系數(shù)、運行時間等）是各廠務系統(tǒng)設(shè)計的前提，此外為保障工藝生產(chǎn)環(huán)境，其潔凈室溫濕度及潔凈度要求、設(shè)備散熱等是空調(diào)凈化系統(tǒng)設(shè)計的關(guān)鍵因素。在上述工藝條件基礎(chǔ)上，各廠務系統(tǒng)自身系統(tǒng)選型和配置也成為下游專業(yè)設(shè)計的前提，環(huán)環(huán)相扣、息息相關(guān)，上游專業(yè)的保守用量估算和層層放大都將會影響如動力專業(yè)、電專業(yè)等系統(tǒng)配置的冗余。雖然對工廠正常運行能源消耗量影響不大，但可能產(chǎn)生對項目初始建設(shè)投資的增加。因此科學、嚴謹?shù)拇_定各體系用量及參數(shù)，合理采取節(jié)能措施，是TFT－LCD項目節(jié)能降耗的關(guān)鍵。

圖2 TFT－LCD工廠全廠能量平衡關(guān)系網(wǎng)絡圖Fig.2 Energy balance interrelationship of TFT－LCD factory

3.1 電力消耗及平衡分析

電力是TFT－LCD工廠能源消耗大頭，約占全廠綜合能耗的75%以上，企業(yè)年繳電費近10億元。分析電力消耗特點并找出核心耗電工序和耗電設(shè)備，是降低能耗的突破口。按工廠各生產(chǎn)部門的電力消耗分析，工藝生產(chǎn)設(shè)備的電力消耗約占全廠用電的45%～50%，廠務系統(tǒng)約占總用電的50%～55%，其中動力設(shè)備占約40%，照明及輸變電損耗共計約占全廠用電的1%。如圖3所示。根據(jù)TFT－LCD項目生產(chǎn)特點，工藝生產(chǎn)設(shè)備實行全年365天晝夜連續(xù)生產(chǎn)的工作制度，因此，為其配套的生產(chǎn)環(huán)境、輔助動力設(shè)施也要滿足全年不間斷運行，由于生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度要求較高，大面積的3.5級和4.5級凈化區(qū)域，最高為2.5級凈化，潔凈面積近20萬平方米，其恒溫恒濕的環(huán)境要求及凈化要求，對于冷熱量有較大的需求，此外，大量動力供應需求，導致制冷空調(diào)及動力等公用設(shè)施的耗電占比較高。

圖3 TFT－LCD工廠電力消耗分布圖Fig.3 Power consumption distribution of TFTLCD factory

在所有工藝設(shè)備用電中，陣列工序是最主要的工藝耗能工序。TFT－LCD生產(chǎn)線通常是由同類設(shè)備組成的設(shè)備組完成相應工序，由于每類設(shè)備數(shù)量配置由單臺設(shè)備加工能力決定，因此各類設(shè)備數(shù)量不盡相同，導致設(shè)備組的耗能情況與單臺設(shè)備能耗情況不完全一致，且設(shè)備組能耗分析對優(yōu)化設(shè)備參數(shù)、降低工序能耗更具實際指導作用。如圖4所示，設(shè)備組中耗電量最高的依次為Dry Etch、PECVD、Photo，這3類設(shè)備占了陣列工序耗電量的50%。若考慮單臺設(shè)備耗電，金屬Sputter耗電量最高。

圖4 陣列工序同類設(shè)備組耗電量分布情況Fig.4 Power consumption by array EQ total of array

由于TFT－LCD產(chǎn)業(yè)涉及半導體、光學、微電子、化學材料、精密機械等眾多高科技領(lǐng)域，產(chǎn)品技術(shù)和工藝水平要求較高，面板工藝技術(shù)約60%都固化到設(shè)備中，而目前大型TFT－LCD設(shè)備制造主要由日本、美國、韓國的少數(shù)廠商壟斷。因此，從工藝設(shè)備節(jié)電空間來看，雖然程度有限，但依然可以根據(jù)分析主要耗能設(shè)備，對設(shè)備廠商提出節(jié)能需求，促進技術(shù)革新。此外企業(yè)可以通過縮短工藝節(jié)拍（Tact Time）、提高設(shè)備稼動率來實現(xiàn)產(chǎn)能提高，從而降低單位產(chǎn)品的能耗。

動力設(shè)備中主要耗能設(shè)備包括冷水機組、空壓機組、風機、水泵、空調(diào)機組、鍋爐等，設(shè)備選型及配置時需選擇低能耗的設(shè)備。所選設(shè)備能效值應滿足國家現(xiàn)行相關(guān)標準能效限定值、能源效率等級、或節(jié)能評價值。此外，工廠設(shè)計所采用的電力變壓器及配電變壓器均須達到現(xiàn)行國家標準所要求的2級及以上能效等級［5］。

圖5 TFT－LCD工廠電力平衡及流向示意圖Fig.5 Power balance and flow chart of TFT－LCD factory

TFT－LCD項目電力平衡及流向分析如圖5所示。

3.2 熱力消耗及平衡分析

由電力消耗特點分析可知，由于潔凈環(huán)境及相關(guān)冷熱量負荷需求較大，導致TFT－LCD項目動力設(shè)備和暖通空調(diào)設(shè)備耗電量較大。

TFT－LCD項目冷源通常包括低溫冷源和中溫冷源，低溫冷源為7／14℃冷水，由低溫冷凍水系統(tǒng)提供，主要用于新風機組二級冷水盤管、一般降溫空調(diào)機組冷盤管；中溫冷源為14／21℃冷水，由中溫冷凍水系統(tǒng)提供，主要用于潔凈區(qū)內(nèi)干式冷盤管（DDC）、新風機組一級冷盤管、潔凈室循環(huán)機組的冷盤管，以及配變電間等空調(diào)系統(tǒng)的冷盤管；此外中溫冷源還用于工藝冷卻水系統(tǒng)、純水系統(tǒng)、空壓系統(tǒng)的冷卻。

熱源通常包括低溫熱源和高溫熱源。低溫熱源為36／26℃的熱水，由壓縮空氣機組熱回收、冷水機組熱回收供應，或市政熱源（通常作為補充熱源）；主要用于潔凈室新風機組加熱段（過渡季、冬季）、非潔凈區(qū)空調(diào)（冬季）加熱、以及純水制備過程中原水加熱。高溫熱源為80／60℃的熱水，由市政熱水（或市政蒸汽換熱）、燃氣鍋爐供應；主要用于采暖。

TFT－LCD項目熱力平衡及流向分析如圖6所示。

圖6 TFT－LCD工廠熱力平衡及流向示意圖Fig.6 Heat balance and flow chart of TFT－LCD factory

目前，系統(tǒng)設(shè)計時通常采用空壓機組熱回收和冷水機組熱回收等措施實現(xiàn)減少對市政熱力的需求?？諌簷C組負荷一年四季比較穩(wěn)定［6］，其回收熱量優(yōu)先利用，冷水機組負荷季節(jié)差異比較大，通常作為壓縮空氣機組壓縮熱回收、純水系統(tǒng)熱回收補充備用。此外，TFT－LCD工廠冷熱源系統(tǒng)設(shè)計中冷凍水供應中低溫系統(tǒng)分開設(shè)置、冷凍水及冷卻水采用大溫差、自由冷卻等節(jié)能措施，也實現(xiàn)了較好的節(jié)能效果［7］。

3.3 水量消耗及平衡分析

月產(chǎn)能為100kSheet的8.5代TFT－LCD生產(chǎn)線日用水量近3萬噸／天，雖然新鮮水折標準煤后僅占全廠綜合能耗的0.2%，但在電子行業(yè)中屬于水資源消耗量較大的項目，節(jié)約用水、提高水的重復利用率，是此類項目節(jié)能關(guān)注的重點。TFT－LCD項目供水系統(tǒng)通常包括主要包括工藝用水、生活用水及輔助系統(tǒng)用水等，水源通常取自市政自來水管網(wǎng)，給水系統(tǒng)通常分為一般機電給水系統(tǒng)，包括加壓生活給水系統(tǒng)、熱水系統(tǒng)、回水系統(tǒng)、冷凝水回收系統(tǒng)、動力用冷卻循環(huán)水系統(tǒng)等；純水系統(tǒng)，包括動力設(shè)備用RO水、超純水供給工藝設(shè)備生產(chǎn)及化學品配置、純水回收及回用系統(tǒng)；工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)；以及消防給水系統(tǒng)。圖7示意了一般TFT－LCD項目用水平衡圖。

圖7 TFT－LCD工廠水量平衡及流向示意圖Fig.7 Water balance interrelationship of TFT－LCD factory

3.4 天然氣及氮氣消耗及平衡分析

在TFT－LCD項目綜合能耗中，天然氣折標準煤比例不到1%，主要用于生產(chǎn)廢氣處理系統(tǒng)設(shè)備、燃氣鍋爐、以及職工食堂。

氮氣是TFT－LCD項目消耗量最大的耗能工質(zhì)，主要用于生產(chǎn)過程中保護氣體、反應氣體、載氣、以及破真空氣體。

天然氣和氮氣的流向分析如圖8所示。

圖8 TFT－LCD工廠天然氣及氮氣平衡及流向示意圖Fig.8 Nature gas and Nitrogen balance and flow chart of TFT－LCD factory

4 TFT-LCD項目先進性評價能耗指標

能效水平或能耗指標是評價一個企業(yè)、項目或產(chǎn)品是否先進、是否節(jié)能的關(guān)鍵指標。與國內(nèi)外同行業(yè)先進企業(yè)進行能效指標對標分析，是提高企業(yè)能源利用率、降低運行成本、提升經(jīng)濟效益和競爭力的有效手段［8］。

雖然我國TFT－LCD產(chǎn)業(yè)發(fā)展日趨成熟，但企業(yè)運行數(shù)據(jù)和能耗指標基本屬于商業(yè)機密，較難獲得也不宜對外公開。目前國家也尚未發(fā)布有關(guān)TFT－LCD行業(yè)能耗限額有關(guān)標準規(guī)范［9］。

隨著我國關(guān)于固定資產(chǎn)投資項目節(jié)能評估的開展，目前全國有部分地區(qū)如北京、上海、南京等城市公布了產(chǎn)業(yè)／行業(yè)能效指南［10－12］，對“電子器件制造”行業(yè)提出了參考指標，由于TFT－LCD項目的先進性和特殊性，上述指南中指標對此類項目基本不能起到較好的對標作用。根據(jù)TFTLCD面板項目的生產(chǎn)特點，以及我院在顯示行業(yè)多年的設(shè)計經(jīng)驗數(shù)據(jù)和產(chǎn)線調(diào)研結(jié)果，總結(jié)確立了評價TFT－LCD項目部分能效指標評價體系及先進水平參考值。主要包括單位玻璃基板電耗、單位玻璃基板水耗、單位玻璃基板綜合能耗、單位產(chǎn)值能耗、單位工業(yè)增加值能耗。

通常評價產(chǎn)品能效水平采用單位產(chǎn)品能耗，而TFT－LCD項目是以大片玻璃基板為原材料，根據(jù)產(chǎn)線世代和產(chǎn)品定位切割不同尺寸的顯示產(chǎn)品。即使相同的世代線，技術(shù)路線相同，由于其市場定位和產(chǎn)品方案不同，其最終生產(chǎn)的產(chǎn)品（模組）數(shù)量是不同的。因此為建立可比較的評價體系，TFT－LCD等平板顯示項目分析單位產(chǎn)品綜合能耗時，不以最終的產(chǎn)品數(shù)量為基準，而以年玻璃基板投入量即玻璃基板面積為基準，進行對標分析。表3總結(jié)出了目前國內(nèi)TFT－LCD項目（α-Si，4次光刻）較為先進的能耗指標，可供此類項目節(jié)能評估和企業(yè)對標參考。

表3 TFT-LCD工廠主要能耗指標Tab.3 Main energy consumption indicators of TFT－LCD factory

由于不同項目技術(shù)路線不同、生產(chǎn)工序不同，其能效水平的對標基準會有所不同，因此用能耗指標進行先進性評價時需要綜合考慮差異因素盡量折算成相同基準進行比較分析。

5 結(jié) 論

TFT－LCD面板項目屬于高耗能產(chǎn)業(yè)，降低項目能源消耗，提高能源利用率對節(jié)約社會資源，降低企業(yè)運營成本有著重要意義。目前國內(nèi)外還鮮有相關(guān)文章分析此類項目能源消耗特點，本文通過總結(jié)分析TFT－LCD項目能源消費結(jié)構(gòu)和用能特點，找出重點耗能環(huán)節(jié)和耗能設(shè)備以及影響能耗的關(guān)鍵因素，提出能耗指標國內(nèi)先進水平參考值。分析結(jié)果表明：電力是TFT－LCD項目消耗量最大的能源，約占全廠綜合能耗的75%以上，其中工藝生產(chǎn)設(shè)備電力消耗約占全廠用電的45%～50%，陣列為最主要的工藝耗能工序，廠務系統(tǒng)中冷水機組等動力設(shè)備是主要耗能設(shè)備；氮氣是消耗量最大的耗能工質(zhì)，約占全廠綜合能耗的20%。項目設(shè)計、建設(shè)及運營過程可以針對主要用能環(huán)節(jié)和設(shè)備有的放矢的采取科學、合理、可行的節(jié)能措施和節(jié)能工程，或?qū)扔许椖窟M行能源消費結(jié)構(gòu)優(yōu)化，從而降低能耗和運營成本，對節(jié)約社會能源資源，實現(xiàn)地區(qū)節(jié)能目標，提升企業(yè)產(chǎn)品競爭力具有積極意義。

［1］FPD制造，預測大陸顯示面板產(chǎn)能2016年超臺灣 ［EB／OL］.［2014－3－26］.http：／／www.semi.org.cn／fpd／news＿show.aspx ID＝6704＆classid＝2.FPD manufacturing，F(xiàn)orecast the mainland display panel production capacity will catch up Taiwan in 2016 ［EB／OL］.［2014－3－26］.http：／／www.semi.org.cn／fpd／news＿show.aspx ID＝6704＆classid＝2.（in Chinese）

［2］孟昭利.企業(yè)能源審計方法［M］.2版.北京：清華大學出版社，2002：64.Meng Z L.Enterprise Energy Audit Method ［M］.2nd ed.Beijing：Tsinghua university press，2002：64.（in Chinese）

［3］中華人民共和國國家標準.GB／T 2589－2008，綜合能耗計算通則［S］.北京：中國標準出版社，2008.The national standard of the People＇s Republic of China.GB／T 2589－2008，General principles for calculation of total production energy consumption［S］.Beijing：China Standard Press，2008.（in Chinese）

［4］Carkner D，Rahimian B，O＇Halloran M，et al.End－to－end factory solutions，from design to completion：display manufacturing facilities from greenfield to green manufacturing ［J］.SID Symposium Digest of Technical Papers，2009，40（1）：625－628.

［5］中華人民共和國國家標準.GB／T 50878－2013，綠色工業(yè)建筑評價標準［S］.北京：中國建筑工業(yè)出版社，2013.The national standard of the People＇s Republic of China.GB／T 50878－2013，Evaluation standard for green industrial building［S］.Beijing：China Building Industry Press，2013.（in Chinese）

［6］秦學禮，肖紅梅，廖國期，等.高世代 TFT－LCD 生產(chǎn)廠房節(jié)能技術(shù)簡介［EB／OL］.http：／／www.doc88.com／p－578889341854.html.Qin X L，Xiao H M，Liao G Q，et al.Energy saving technology introduction if high generation TFT－LCD FAB［EB／OL］.http：／／www.doc88.com／p－578889341854.html.（in Chinese）

［7］計玉幫，廖國期.TFT－LCD工廠冷熱源系統(tǒng)設(shè)計與節(jié)能［J］.潔凈與空調(diào)技術(shù)，2011，12（4）：37－39.Ji Y B，Liao G Q.Saving energy design of heat resource system in TFT－LCD factory［J］.Contamination Control ＆Air－Conditioning Technology，2011，12（4）：37－39.（in Chinese）

［8］熊華文，周伏秋，劉靜茹.淺議能效對標指標體系的構(gòu)建與應用［J］.中國能源，2008，11（30）：30－34.Xiong H W，Zhou F Q，Liu J R.Discussion the construction and the application of energy efficiency benchmarking index system ［J］.Energy of China，2008，11（30）：30－34.（in Chinese）

［9］柳江虹，牟穎.TFT LCD 行業(yè)標準的探討［J］.液晶與顯示，2000，15（4）：312－314.Liu J H，Mou Y.Discussion of TFT LCD industry standards［J］.Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays，2000，15（4）：312－314.（in Chinese）

［10］北京市經(jīng)濟和信息化委員會.關(guān)于印發(fā)《北京工業(yè)能耗水耗指導指標》（第二批）的通知［EB／OL］.京工促發(fā)〔2008〕76號，2010，http：／／www.bjeit.gov.cn／zdzttj／zdxmld／zchz／201107／P020110708593424598824.doc.Beijing Municipal Commission of Economy and Information Technology.Announcement about printing and distribution of the‘Beijing Industrial Energy and Water Consumption Guide Indicators（the second time）［EB／OL］.［2008］76，2010，http：／／www.bjeit.gov.cn／zdzttj／zdxmld／zchz／201107／P020110708593424598824.doc.（in Chinese）

［11］上海市經(jīng)濟和信息化委員會.上海產(chǎn)業(yè)能效指南（2011版）［EN／OL］.2011.http：／／www.sheitc.gov.cn／cynxzn／653848.htm Shanghai Municipal Commission of Economy and Information Technology.Shanghai industrial energy efficiency guidelines（Version 2011）［EN／OL］.2011.http：／／www.sheitc.gov.cn／cynxzn／653848.htm.（in Chinese）

［12］南京市政府辦公廳.關(guān)于轉(zhuǎn)發(fā)市發(fā)改委南京市固定資產(chǎn)節(jié)能評估行業(yè)能效指南的通知［EB／OL］.寧政辦發(fā)〔2013〕19號，2013，http：／／www.nanjing.gov.cn／njgov／xxgk／zfgb＿1／1303／130305／201304／t20130412＿779969.html.Nanjing Municipal Government Office.Announcement about retransmission of the fixed assets energy－saving energy efficiency assessment industry guidelines issued by nanjing municipal commission of development ＆ reform［EB／OL］.［2013］19，2013，http：／／www.nanjing.gov.cn／njgov／xxgk／zfgb＿1／1303／130305／201304／t20130412＿779969.html.（in Chinese）