近年來中國半導(dǎo)體裝備業(yè)獲得迅速發(fā)展，在一定程度上支撐著國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展。但是和國外半導(dǎo)體裝備巨頭相比，國內(nèi)廠商仍存較大差距，當前國內(nèi)高端制造裝備大多仍需依賴進口。專家表示國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備業(yè)亟需努力突破核心技術(shù)，加大資本投入，構(gòu)建完善生態(tài)鏈體系。

年銷售收入逾40億元 國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備崛起

半導(dǎo)體裝備業(yè)是全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)版圖中一關(guān)鍵環(huán)節(jié)。據(jù)全球半導(dǎo)體設(shè)備暨材料協(xié)會（SEMI）最新預(yù)測顯示，半導(dǎo)體設(shè)備全球銷售額2013年將收縮13.3%至320億美元。中國大陸2013年半導(dǎo)體設(shè)備銷售額為30億美元，2014年將達41.1億美元。

記者從日前舉行的“2013年中國半導(dǎo)體制造裝備戰(zhàn)略峰會暨半導(dǎo)體設(shè)備市場年會”上獲悉，中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會17家半導(dǎo)體設(shè)備制造商統(tǒng)計，2012年國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入為36.8億元人民幣，預(yù)計2013年國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入為42億元人民幣，其中光伏設(shè)備銷售收入為28.2億元，IC／LED等器件設(shè)備銷售收入為13.8億元。

據(jù)中國科學(xué)院微電子研究所所長葉甜春介紹，近年來國內(nèi)外市場需求為國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備業(yè)提供了歷史性發(fā)展機遇與空間。目前一批高端封裝工藝開發(fā)成功，國產(chǎn)裝備實現(xiàn)從無到有突破，一些技術(shù)開始與國際領(lǐng)先廠商并駕齊驅(qū)。

比如，盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司不久前就宣布其300 mm(12英寸)單片兆聲波清洗設(shè)備已經(jīng)銷售給韓國海力士公司，這也是中國本土半導(dǎo)體設(shè)備廠商第一次進入國際主流半導(dǎo)體廠商的供應(yīng)鏈中。

中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會副秘書長金存忠表示：“十二五”期間國家出臺有支持發(fā)展半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)的諸多政策，國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項”（俗稱02專項）明確提出，“十二五”期間將重點進行45～22 nm關(guān)鍵制造裝備攻關(guān)等，使裝備和材料占國內(nèi)市場的份額分別達到10%和20%，并開拓國際市場。

中國科學(xué)院院士、中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所所長王曦認為，目前我國半導(dǎo)體裝備業(yè)的創(chuàng)新能力和競爭力有了極大提高，這為我國實現(xiàn)全面自主開發(fā)半導(dǎo)體關(guān)鍵制造裝備，掌握具有自主知識產(chǎn)權(quán)的成套先進工藝及相關(guān)新材料技術(shù)，打破我國高端半導(dǎo)體制造裝備完全依賴進口的狀況，帶動相關(guān)產(chǎn)業(yè)技術(shù)提升和結(jié)構(gòu)調(diào)整打下堅實基礎(chǔ)。

與國際巨頭相比仍存較大差距

隨著國家啟動專項的支持和推進，一些關(guān)鍵半導(dǎo)體設(shè)備已從2000年落后國外先進水平5代，縮短為現(xiàn)在的1～2代，已有部分設(shè)備可以在大生產(chǎn)線上替代國外設(shè)備。但僅僅有幾臺設(shè)備國產(chǎn)化還遠遠不夠，國內(nèi)仍然沒有整線制造的能力。而且許多國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備中的關(guān)鍵零部件也仍不具備國產(chǎn)化能力，依然需要進口，這也使得國產(chǎn)設(shè)備的完全自主仍然面臨挑戰(zhàn)。

上海藍光科技有限公司技術(shù)副總裁郝茂盛表示，我國半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展始于模仿，設(shè)備本體的設(shè)計與制造和與之配套的工藝技術(shù)脫節(jié)比較嚴重，戰(zhàn)略模式、商業(yè)模式、創(chuàng)新能力與國際仍存較大差距，而且設(shè)備供應(yīng)商缺乏對產(chǎn)品應(yīng)用趨勢和發(fā)展方向的深入了解。既使某些設(shè)備供應(yīng)商的研發(fā)團隊具有國際前沿技術(shù)研發(fā)能力，開發(fā)出高端設(shè)備，卻苦于沒有機會進入應(yīng)用領(lǐng)域進行驗證，導(dǎo)致無法在工藝驗證及批量生產(chǎn)過程中發(fā)現(xiàn)問題、改進設(shè)備，最終高端設(shè)備無法實現(xiàn)批量銷售、缺乏市場競爭力。

和國外相比，目前國內(nèi)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)投入不足，規(guī)模過小。我國集成電路產(chǎn)業(yè)還遠未達到可以支撐自我良性發(fā)展的規(guī)模，據(jù)計算，解決中國芯片進口量30%，需要150片／月（12英寸折算）產(chǎn)能，而目前僅為200 mm(8英寸)產(chǎn)能40萬片／月，300 mm(12英寸)產(chǎn)能6萬片／月。

而且在專家看來，當前國內(nèi)半導(dǎo)體裝備企業(yè)差異化競爭力和創(chuàng)新能力存在不足。企業(yè)缺乏差異化的產(chǎn)品規(guī)劃，產(chǎn)品碎片化、同質(zhì)化嚴重，無力開展系統(tǒng)性的研發(fā)工作等。

中微半導(dǎo)體董事長兼首席執(zhí)行官尹志堯認為，在全球半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域，激烈競爭造成產(chǎn)業(yè)的集中和壟斷，設(shè)備市場進入門檻極高。每種設(shè)備有兩到三個壟斷的設(shè)備公司，各有幾十億到百億美元的年產(chǎn)值。而中國的芯片生產(chǎn)的技術(shù)和規(guī)模有限，國際設(shè)備市場95%不在中國，國內(nèi)市場目前又不足以支撐一個完全內(nèi)銷的設(shè)備行業(yè)。

除此之外，設(shè)備進入客戶生產(chǎn)線的門檻非常高，一些國家擔心最先進的技術(shù)泄露到中國，一些國家為保護本地的設(shè)備企業(yè)，不愿直接接收中國制造的設(shè)備產(chǎn)品。另外，由于從設(shè)備開發(fā)，引入市場，到實現(xiàn)收支平衡的周期較長，需要大量資金的支撐，而風險投資一般很難持續(xù)投入和支持。

遵循產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)律 憑借技術(shù)創(chuàng)新實施產(chǎn)業(yè)突圍

目前，國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備業(yè)的發(fā)展正進入新的階段，如何更有效地突破核心技術(shù)、如何推廣研制的半導(dǎo)體裝備規(guī)?；M入市場、如何更好地培育旗艦企業(yè)、如何打造更完善的供應(yīng)體系等，成為產(chǎn)業(yè)不容回避的難題。

為推動中國集成電路產(chǎn)業(yè)進入“黃金發(fā)展時期”，葉甜春表示：一是面向國家集成電路產(chǎn)業(yè)鏈建設(shè)和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展，以局部關(guān)鍵技術(shù)突破為主向全局性、系統(tǒng)性、集成性重大創(chuàng)新轉(zhuǎn)變，組織創(chuàng)新研發(fā)聯(lián)盟，重點提升企業(yè)創(chuàng)新能力。二是要從“跟隨戰(zhàn)略”轉(zhuǎn)向“創(chuàng)新跨越”，在若干核心技術(shù)領(lǐng)域形成具有特色的創(chuàng)新技術(shù)和創(chuàng)新產(chǎn)品。

中晟光電設(shè)備（上海）有限公司董事長陳愛華認為，國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備企業(yè)要準確把握和確定市場與客戶的關(guān)鍵需求；創(chuàng)新與經(jīng)濟效益相結(jié)合開發(fā)既具有核心競爭力，又能滿足客戶最關(guān)鍵需求的產(chǎn)品；國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備市場化初期也是最關(guān)鍵的時期，亟需產(chǎn)業(yè)鏈之間相互支持與合作。

“國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展要遵循產(chǎn)業(yè)發(fā)展的規(guī)律?！币緢虮硎荆覈陌雽?dǎo)體設(shè)備公司要迎頭趕上，打造和國際領(lǐng)先的設(shè)備公司直接正面競爭的能力，關(guān)鍵在于要有政府的政策扶持，要有資本運作的機制和國際上相當?shù)馁Y金投入，有高端人才組成的領(lǐng)軍團隊，以及進一步的激勵和集中全力，重點突破。

而對于當前半導(dǎo)體設(shè)備工業(yè)知識產(chǎn)權(quán)壁壘很高，國外企業(yè)用知識產(chǎn)權(quán)作武器阻止新公司進入市場的不利局面，國內(nèi)企業(yè)必須對現(xiàn)有的專利進行全面分析，必須有自己獨立的知識產(chǎn)權(quán)，也必須尊重他人的知識產(chǎn)權(quán)。

此外，由于目前國內(nèi)市場尚不足以支撐一個完全內(nèi)銷的設(shè)備行業(yè)，設(shè)備產(chǎn)品必須打到國際市場上去競爭。國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商必須有打入國際市場的部署和渠道，要和海外客戶建立良好關(guān)系，實行雙贏策略。