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        民轉(zhuǎn)軍技術(shù)

        2013-12-03 11:42:52
        中國軍轉(zhuǎn)民 2013年8期
        關(guān)鍵詞:半導體芯片純金濾紙

        電子工業(yè)用金基蒸發(fā)材料及濺射靶材

        【關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)或產(chǎn)品性能】

        金基蒸發(fā)材料:

        1)高純金5N及純金4N產(chǎn)品

        高純金:純度Au≥99.999%、雜質(zhì)總量≤10PPM、其中C≤0.3PPM;純金:純度Au≥99.99%、雜質(zhì)總量≤100PPM。

        2)金鈹AuBe1-2.5產(chǎn)品

        成分:Be1-2.5、Au余量、雜質(zhì)總量≤0.01%。

        3)金鍺AuGe2-12、金鍺鎳AuGe10-12Ni1-5合金產(chǎn)品

        成分:Ge2-12、Au余量、雜質(zhì)總量≤0.01%;Ge10-12、Ni1-5、Au余量、雜質(zhì)總量≤0.01%。

        4)金錫合金、金鋅合金、金鎵合金產(chǎn)品

        產(chǎn)品規(guī)格:¢2×5mm、¢3×4mm、≠2×10×10mm等規(guī)則顆粒,絲材、片材。

        金基濺射靶材:

        高純金靶材產(chǎn)品:純度:Au≥99.999%、雜質(zhì)總量≤10 PPM、C≤0.3PPM;

        金鍺AuGe12、金鍺鎳AuGe11.5Ni5合金靶材產(chǎn)品:

        金鍺AuGe12成分:Au88%,Ge余量、雜質(zhì)總量≤0.01%、C≤0.3PPM;

        金鍺鎳AuGe11.5Ni5成分: Au83.6%、Ni5%、Ge余量、雜質(zhì)總量≤0.01%、C≤0.3PPM;

        產(chǎn)品規(guī)格: 高純金厚度3mm、直徑6英寸、8英寸、127×382mm等;AuGe12、AuGe11.5Ni5合金靶材、厚度6mm、直徑6~8英寸、127×382mm等。

        關(guān)鍵技術(shù):高純金原料批量制備技術(shù);連鑄工藝連鑄高純金及合金技術(shù);精密澆鑄AuBe、AuGe、AuGeNi合金規(guī)則顆粒技術(shù);制備超低含碳量高純金蒸發(fā)源及濺射靶材技術(shù);采用包覆熱軋加工制備AuGe、AuGeNi合金箔材技術(shù)。

        本產(chǎn)品為單位自有技術(shù),目前處于規(guī)?;a(chǎn)階段,屬國內(nèi)先進水平。

        【功能及主要應用情況】

        高純金及合金具有極好的化學穩(wěn)定性,接觸電阻低而穩(wěn)定,導電性和導熱性良好,易形成膜、易鍵合和與半導體基體好的附著性。通過添加合金元素形成金鍺、金鍺鎳、金鈹、金鎵、金錫等合金后可改變其熔點,改善與不同半導體芯片材料的潤濕性、附著性,特別是可以與化合物半導體芯片形成金屬-半導體(M-S) 歐姆接觸。高純金及合金通常加工成蒸發(fā)源或濺射靶材形狀,使用真空蒸發(fā)或濺射工藝沉積在半導體芯片表面,形成歐姆接觸、電極和連線膜,是制造半導體芯片的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料,大量應用于制造發(fā)光二極管(LED),軍用和民用微波通信器件,航天、航空等重要領(lǐng)域用高轉(zhuǎn)化率半導體化合物(GaN、GaAs等)芯片太陽能電池等。

        【產(chǎn)品(技術(shù))持有單位】貴研鉑業(yè)股份有限公司

        玻璃纖維空氣濾紙

        【關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)或產(chǎn)品性能】

        通風用濾紙(ASHRAE):過濾效率15~80%,過濾阻力15~90Pa;

        中、高效空氣過濾器用濾紙(HEPA):過濾效率:95~99.99%(0.3μm);

        過濾阻力160~380Pa;

        超高效空氣過濾器用濾紙(ULPA):過濾效率:99.995~99.999%(0.3μm);過濾阻力400~450Pa;

        厚度0.30-0.35mm;抗張強度≥1.2 kN/m(縱向),≥0.5 kN/m(橫向);挺度≥1.2mN.m(HEPA、ULPA),≥1.5 mN.M(ASHRAE)。

        本產(chǎn)品為單位自有技術(shù)并獲國內(nèi)發(fā)明專利,目前處于規(guī)?;a(chǎn)階段。

        【功能及主要應用情況】本產(chǎn)品用于醫(yī)藥、電子、食品、紡織、高檔辦公娛樂場所等行業(yè)的空調(diào)系統(tǒng)中的空氣過濾。一般通風用濾紙(ASHRAE)主要用于普通空調(diào)系統(tǒng)、燃氣輪機與空壓機;中、高效空氣過濾器用濾紙(HEPA)主要用于10萬級~萬級潔凈室或工作臺、核電站排風、高檔家用吸塵器、空氣凈化器、防毒面具等;超高效空氣過濾器用濾紙(ULPA)主要用于芯片廠及100級、10級、1級潔凈廠房等。

        【產(chǎn)品(技術(shù))持有單位】中材科技股份有限公司

        太陽能電池用鍺單晶片

        【關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)或產(chǎn)品性能】

        本產(chǎn)品為單位自有技術(shù)并獲國內(nèi)發(fā)明專利,目前處于中試階段。

        【功能及主要應用情況】鍺單晶片用于生產(chǎn)高效率三結(jié)砷化鎵太陽能電池,主要應用于衛(wèi)星、空間站等太陽能電池,及地面海島、邊防哨所以及建設地面高倍聚光太陽能電站。

        【產(chǎn)品(技術(shù))持有單位】云南中科鑫圓晶體材料有限公司

        TbDy-Fe磁致伸縮材料

        【關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)或產(chǎn)品性能】材料磁致伸縮性能:l≥1000ppm,

        力學性能:抗彎強度(σbb)≥20Mpa,抗壓強度(σbc)≥250MPa

        本產(chǎn)品為單位自有技術(shù)并獲國內(nèi)發(fā)明專利,目前處于中試階段。

        【功能及主要應用情況】用這種材料做驅(qū)動元件的器件具有功率大,體積小,結(jié)構(gòu)簡單,響應快,精度高,頻帶寬,可靠性高等優(yōu)點。主要用于制造致動器、致動器(輸出位移或力的伺服器件)、傳感器和聲表面波器件。

        【產(chǎn)品(技術(shù))持有單位】包頭稀土研究院

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