湯 偉,吉桐伯,郭 勁* ,邵俊峰,王挺峰
(1.中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所激光與物質(zhì)相互作用國家重點實驗室,吉林長春130033;2.中國科學(xué)院大學(xué),北京100049)
激光輻照效應(yīng)是目前國內(nèi)外激光技術(shù)領(lǐng)域研究熱點之一[1-6]。HgCdTe晶體是一種性能優(yōu)異的紅外光學(xué)材料,被廣泛應(yīng)用于紅外探測器的制備[7],但HgCdTe材料的電學(xué)和光學(xué)性質(zhì),使其自身存在電學(xué)活性雜質(zhì)和本征缺陷[8],在強(qiáng)激光輻照下,HgCdTe探測器易受干擾和損傷[9-10],因此,近年來關(guān)于HgCdTe晶體以及器件的輻照效應(yīng)研究備受關(guān)注。
目前,國內(nèi)外學(xué)者已經(jīng)針對HgCdTe晶體損傷特性進(jìn)行了大量的研究,然而這些研究大多集中在連續(xù)激光[11-12]和單脈沖激光[13-15],關(guān)于高重頻CO2激光作用下HgCdTe材料或器件損傷特性的研究還鮮有報道。此外,由于組分x為0.216的HgCdTe晶體適于制造響應(yīng)波段在8~14 μm的紅外探測器,因此本文針對高重頻CO2激光作用下 Hg0.784Cd0.216Te晶體熱損傷特性進(jìn)行研究,該項研究對于長波紅外探測器具有一定的實際意義。
考慮到在多脈沖激光輻照下,晶體的損傷主要以熱熔損傷為主[16]。建模時以晶體的四分之一作為物理分析模型,晶體放置在絕緣的基底材料上,高重頻CO2激光垂直入射到晶體表面,光斑中心與晶體中心重合。
高重頻 CO2激光輻照下,Hg0.784Cd0.216Te 晶體的溫度場分布可用激光深層吸收熱傳導(dǎo)微分方程[16]來描述:
式中:ρ為材料的密度,R為反射率,t為時間,熱物理參數(shù)比熱c(T)、熱傳導(dǎo)系數(shù)k(T)、熱吸收系數(shù)α(T)均與溫度大小有關(guān)。
考慮到在高重頻激光加載過程中,激光作用時間較長,晶體表面與空氣間存在對流換熱過程,因此初始條件和邊界條件可寫成:
式中:T0為環(huán)境溫度,hc為對流換熱系數(shù)。目前,對于方程(1)的求解普遍采用有限元方法,即將連續(xù)區(qū)域進(jìn)行離散化,離散化后晶體內(nèi)部微元體溫度分布可近似表示為:
式中:{N}為描述溫度在單元內(nèi)變化的插值函數(shù)向量,{Te}為單元節(jié)點溫度向量;對于8個節(jié)點的正六面體單元,插值函數(shù)的形式為:
由于方程(4)為溫度分布的近似解,將方程(4)代入熱傳導(dǎo)方程(1)會產(chǎn)生一定的殘差,殘差R可以表示為:
根據(jù)加權(quán)余量的Galerkin法,用插值函數(shù){N}作為權(quán)函數(shù),使殘差R在Galerkin加權(quán)積分的意義上等于零,即:
式中:Ve為單元體積,將方程(5)代入方程(6)后,可得體熱源作用下熱傳導(dǎo)微分方程的矩陣表達(dá)式:
激光光源為小型聲光調(diào)Q CO2激光器,激光器重復(fù)頻率在1 Hz~100 kHz可調(diào),室內(nèi)條件下測得激光器輸出平均功率可達(dá)1.5 W,不穩(wěn)定性小于10%,初始光斑半徑為3 mm,激光發(fā)散角為1 mrad,脈沖寬度約為300 ns,輸出模式為準(zhǔn)基模分布,激光器脈沖波形以及光強(qiáng)分布如圖1所示。
圖1 光源參數(shù)Fig.1 Laser source parameters
實驗樣品選用由上海技術(shù)物理所制備的組分x 為 0.216 的 Hg0.784Cd0.216Te 晶片,晶體呈圓柱狀,半徑 R為8 mm,厚度 h為0.63 mm,實物如圖2所示。
強(qiáng)激光輻照下,Hg1-xCdxTe晶體的光學(xué)參數(shù)主要與材料的組分x和溫度 T有關(guān)。對于Hg0.784Cd0.216Te晶片,材料的比熱容 c、熱傳導(dǎo)系數(shù)K主要取決于晶體的溫度,其大小可由經(jīng)驗公式得到[16],圖3給出了參數(shù)c、K隨溫度變化的關(guān)系曲線。
圖 2 Hg0.784Cd0.216Te 晶片實物圖Fig.2 Physical photo of Hg0.784Cd0.216Te crystal sample
圖3 參數(shù)c、K隨溫度的變化曲線Fig.3 Dependence of c and K on temperature
對于Hg1-xCdxTe晶體的溫升,材料的吸收系數(shù)α(T)是一個重要的光學(xué)參數(shù),然而關(guān)于Hg1-xCdxTe晶體吸收系數(shù)的實驗數(shù)據(jù)大多集中在4.2~300 K之間,而關(guān)于Hg1-xCdxTe晶體吸收系數(shù)在300 K以上的研究則缺少相關(guān)實驗數(shù)據(jù)。
常溫下,盡管 CO2激光的光子能量(E=0.117 eV)遠(yuǎn)小于 Hg0.784Cd0.216Te 晶體的禁帶寬度(Eg=0.190 1 eV),但HgCdTe晶體對光子仍然存在吸收,此時屬于Urbach帶尾吸收。對于Urbach帶尾吸收,CHU等人[17]給出了溫度 T在4.2~300 K時Urbach帶尾吸收系數(shù)α(cm-1)的經(jīng)驗公式:
式中:光子能量E的單位為eV,溫度T的單位為K。
對于 Hg0.784Cd0.216Te 晶體,溫度從 65 K 起,晶體對光子的吸收屬于Urbach帶尾吸收,因此依據(jù)CHU的實驗數(shù)據(jù)利用外延法獲得溫度在66~1 000 K 之間 Hg0.784Cd0.216Te 晶體的吸收系數(shù),擬合曲線如圖4所示。
圖4 吸收系數(shù)α的擬合曲線Fig.4 Fitting curve of absorption coefficient α
擬合方程:
式中:系數(shù) β、ε和 σ 為修正系數(shù),對于Hg0.784Cd0.216Te晶體,β 取 1.002,σ 取 0.401 1,ε取 19.71。Hg0.784Cd0.216Te 晶體其他主要參數(shù)[13]如表1所示。
表 1 Hg0.784Cd0.216Te 晶體的主要參數(shù)Tab.1 Main parameters of Hg0.826Cd0.174Te crystal
基于激光輻照HgCdTe晶體的物理模型以及熱傳導(dǎo)微分方程式(8),采用ANSYS有限元分析軟件對 Hg0.784Cd0.216Te晶體的熱加載過程進(jìn)行數(shù)值求解,計算時考慮了晶體參數(shù)(K、c、α)隨溫度的變化,并認(rèn)為晶體的初始溫度和環(huán)境溫度T0相同,均為 25℃,對流換熱系數(shù) hc為 60 W/(m2·℃)。
計算時通過調(diào)整光束半徑來提高輻照激光的能量密度,研究發(fā)現(xiàn)當(dāng)激光輻照的能量密度大于64.5 J/cm2時,Hg0.784Cd0.216Te 晶體表面溫度值達(dá)到熔點,有限元仿真結(jié)果如圖5所示。
圖5 晶體熱損傷時的有限元仿真結(jié)果Fig.5 Finite element simulation results of thermaldamage
對于基模高斯光束,F(xiàn).Bartoli等人建立了半無限大物理模型,給出了單脈沖激光作用下晶體損傷閾值的理論計算公式[18]:
式中:E0為晶體發(fā)生損傷時的激光能量密度,ΔT為損傷時晶體表面的溫升值,τ為激光器的脈沖寬度,w為輻照到晶體表面的光斑半徑。
對于本文的熱物理模型,由于激光器脈寬τ?1/α2k,則式(12)可簡化為:
計算時晶體的熱物理參數(shù)ρ、α和c在溫度范圍內(nèi)取均值,則依據(jù)式(13)可得單脈沖激光輻照下 Hg0.784Cd0.216Te 晶體的損傷閾值約為70 J/cm2,理論計算結(jié)果與仿真結(jié)果基本一致。
4.2.1 重頻對晶體溫升的影響
圖6分別給出了激光平均功率密度為300 W/cm2,輻照時間為 5 ms,重頻為 1、2、5 和10 kHz時晶體的溫升曲線。
圖6 不同重頻下的晶體溫升曲線Fig.6 Temperature rise curves with different repetition frequencies
可以看出,在脈沖作用期間,晶體的溫度迅速升高,然而由于高重頻激光脈沖間隔時間較短,在此期間晶體通過熱擴(kuò)散和熱對流散失掉的熱量較少,導(dǎo)致在脈沖間隔期間晶體的溫降過程不顯著,從而使得晶體的溫度發(fā)生熱累積,呈階梯狀升高。
此外,對比1和10 kHz的溫升曲線還可以發(fā)現(xiàn),在激光平均功率密度相同的情況下,盡管單脈沖下1 kHz激光作用下晶體的溫升值為10 kHz的10倍,但是由于在5 ms內(nèi),10 kHz激光輸出的脈沖個數(shù)為1 kHz的10倍,且晶體的溫升呈階梯狀升高,脈沖間隔期間晶體的散熱較少,從而使得不同重頻激光作用下5 ms內(nèi)晶體的溫度值基本相同,分別為38.22、38.03℃。可見,在高重頻CO2激光作用下,Hg0.784Cd0.216Te 晶體的溫升主要與激光平均功率密度有關(guān),而與激光重頻的大小無關(guān)。
4.2.2 損傷閾值
由于高重頻 CO2激光的最佳工作頻率為1 kHz[15],因此以重頻為 1 kHz 的 CO2激光為例,對晶體損傷特性進(jìn)行分析。
由圖7(a)晶體的溫升結(jié)果可以看出,不同激光功率密度下,晶體發(fā)生損傷的時間不同,平均功率密度越高,晶體發(fā)生損傷的時間越短;對比2.6與2 kW/cm2的損傷時間可知,前者僅為后者的1/7。
圖7 晶體損傷閾值的仿真結(jié)果Fig.7 Simulation results of crystal damage threshold
為了進(jìn)一步分析晶體損傷特性,圖7(b)給出了晶體損傷閾值隨輻照時間的變化特性,可以發(fā)現(xiàn)輻照時間4 s內(nèi),晶體的損傷閾值隨著輻照時間的增加而迅速減小;然而4 s以后輻照時間對晶體損傷閾值的影響較小,當(dāng)輻照時間大于10 s時,晶體的損傷閾值不隨時間的增加而改變,此時晶體的損傷閾值為1.95 kW/cm2。
建立了三維熱物理模型,針對高重頻CO2激光作用下 Hg0.784Cd0.216Te晶體的損傷問題進(jìn)行了數(shù)值仿真。計算結(jié)果表明:與單脈沖損傷相比,高重頻下晶體的損傷閾值明顯減小,晶體損傷閾值的大小與輻照時間有關(guān),10 s以后晶體的損傷閾值為定值,其大小為1.95 kW/cm2。此外,在高重頻CO2激光輻照下,激光重頻對晶體溫升的影響較小,晶體的損傷閾值應(yīng)由激光平均功率密度來表征。
盡管文中定量結(jié)果受仿真參數(shù)的影響,會存在一定誤差,但是本文所得定性結(jié)論是正確的。相關(guān)研究將對Hg0.784Cd0.216Te晶體在長波紅外波段的應(yīng)用提供有益的參考。
[1] 張來明,徐東東,亓鳳杰,等.CO2激光輻照氧化釩熱像儀的實驗[J].光學(xué) 精密工程,2011,19(2):348-353.ZHANG L M,XU D D,QI F J,et al..Experimental research on VO2thermal imager irradiated by CO2laser[J].Opt.Precision Eng.,2011,19(2):348-353.(in Chinese)
[2] 陶萌萌,楊鵬翎,劉衛(wèi)平,等.高能激光輻照下光纖布拉格光柵響應(yīng)特性[J].中國光學(xué),2012,5(5):544-549.TAO M M,YANG P L,LIU W P,et al..Response characteristics of fiber Bragg gratings irradiated by high energy lasers[J].Chinese Optics,2011,19(2):348-353.(in Chinese)
[3] KUMBHAKAR P.半導(dǎo)體量子點材料在Nd∶YAG激光輻照下的非線性光學(xué)效應(yīng)[J].光學(xué) 精密工程,2011,19(2):228-236.KUMBHAKAR P.Observation of nonlinear optical effects in some semiconductor quantum dot materials using Nd∶YAG laser radiation[J].Opt.Precision Eng.,2011,19(2):228-236.(in Chinese)
[4] 楊貴龍,邵春雷,李殿軍,等.室溫條件下脈沖CO激光輻射特性[J].發(fā)光學(xué)報,2010,31(5):682-685.YANG G L,SHAO CH L,LI D J,et al..Properties of pulsed CO laser radiation at room temperature[J].Chinese J.Luminescence,2010,31(5):682-685.(in Chinese)
[5] 邵明振,邵春雷,盧啟鵬,等.高功率TEA CO2激光器主機(jī)結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計[J].發(fā)光學(xué)報,2013,34(3):388-393.SHAO M Zh,SHAO CH L,LU Q P,et al..Design on mainframe of high power TEA CO2laser and optimization[J].Chinese J.Luminescence,2013,34(3):388-393.(in Chinese)
[6] 史晶晶,秦莉,寧永強(qiáng),等.大功率垂直腔面發(fā)射激光器的相干性測量與分析[J].發(fā)光學(xué)報,2011,32(8):834-838.SHI J J,QIN L,NING Y Q,et al..Coherent measurement and analysis of vertical-cavity surface-emitting laser[J].Chinese J.Luminescence,2011,32(8):834-838.(in Chinese)
[7] ROGALSKI A.HgCdTe infrared detector material:history,status and outlook[J].Rep.Prog.Phys.,2005,68:2267-2336.
[8] 蔡虎,程祖海,朱海紅,等.在TEA-CO2強(qiáng)激光脈沖作用下Hg0.8Cd0.2Te晶片表面的組分變化[J].紅外與毫米波學(xué)報,2006,25(3):165-169.CAI H,CHENG Z H,ZHU H H,et al..Surface component change of Hg0.8Cd0.2Te induced by high power pulsed TEACO2laser[J].J.Infrared.Millim.Waves,2006,25(3):165-169.(in Chinese)
[9] BERDING M A,VAN S M,SHER A.Hg0.8Cd0.2Te native defects densities and dopant properties[J].J.Electron.Mater.,1993,22:1005-1010.
[10] 王思雯,郭立紅,趙帥,等.高功率CO2激光對遠(yuǎn)場HgCdTe探測器的干擾實驗[J].光學(xué) 精密工程,2010,18(4):798-804.WANG S W,GUO L H,ZHAO SH,et al..Experiments of high-power CO2laser disturbance to far-field HgCdTe detectors[J].Opt.Precision Eng.,2010,18(4):798-804.(in Chinese)
[11] ZHAO J H,LI X Y,LIU H,et al..Damage threshold of HgCdTe induced by continuous-wave CO2laser[J].Appl.Phys.Lett.,1999,77(8):1081-1083.
[12] 李修乾,程湘愛,王睿,等.波段外CW CO2激光輻照HgCdTe探測器熱效應(yīng)研究[J].中國激光,2003,30(12):1070-1074.LI X Q,CHENG X A,WANG R,et al..Investigation of thermal effect of HgCdTe detector with irradiation by off-band CW CO2laser[J].Chinese J.Lasers,2003,30(12):1070-1074.(in Chinese)
[13] BARTOLI F,ESTEROWITZ L,KRUER M,et al..Thermal modelling of laser damage in 8 ~ 14 μm HgCdTe photoconductive and PbSnTe photovoltaic detectors[J].J.Appl.Physics,1975,46(10):4519-4529.
[14] CHEN CH S,LIU A H,SUN G,et al..Analysis of laser damage threshold and morphological changes at the surface of a HgCdTe crystal[J].J.Opt.A:Pure Appl.Opt.,2006,8:88-92.
[15] 戚樹明,陳傳松,周新玲,等.準(zhǔn)分子激光輻照HgCdTe半導(dǎo)體材料的損傷機(jī)理研究[J].量子光學(xué)學(xué)報,2009,15(1):76-83.QI S M,CHEN CH S,ZHOU X L,et al..Study of damage mechanism on HgCdTe semiconductor material by excimer laser irradiation[J].Acta Sinica Quantum Optica,2009,15(1):76183.(in Chinese)
[16] JEVTIC M M,SCEPANOVIC M J.Melting and solidification in laser-irradiated HgCdTe[J].Appl.Phys.A,1991,53(4):332-338.
[17] CHU J H,MI ZH Y,TANG ZH Y.Band to band optical absorption in narrow gap Hg1-xCdxTe semiconductors[J].J.Appl.Phys.,1992,71(8):3955-3961.
[18] BARTOLI F,ESTEROWITZ L,KRUER M,et al..Irreversible laser damage in ir detector materials[J].Appl.Optics,1977,16(11):2934-2937.