楊要恩 ，孫幸成，王慶敏，3

(1.石家莊鐵路職業(yè)技術(shù)學(xué)院機(jī)電系，石家莊 050041;2.石家莊鐵道大學(xué)，石家莊 050043;3.北京交通大學(xué)機(jī)械與電子控制工程學(xué)院，北京 100044)

在現(xiàn)代工業(yè)測(cè)控領(lǐng)域，結(jié)構(gòu)感知技術(shù)已經(jīng)較初期有了很大的發(fā)展，不同原理、不同類型、不同測(cè)試結(jié)構(gòu)的各種各樣的傳感器得到了廣泛應(yīng)用。而隨著技術(shù)的不斷發(fā)展，工業(yè)測(cè)控領(lǐng)域?qū)鞲衅鞯牟杉?、?dòng)態(tài)響應(yīng)、抗干擾能力、可靠性、質(zhì)量、成本及頻帶等都提出了更高的要求。但是，目前工業(yè)測(cè)控領(lǐng)域所使用的傳感器尤其是在大型結(jié)構(gòu)長(zhǎng)期實(shí)時(shí)振動(dòng)測(cè)試所用的加速度傳感器方面，多采用慣性式位移傳感器及配套的放大器進(jìn)行結(jié)構(gòu)振動(dòng)加速度測(cè)試，其存在抗擾動(dòng)能力差、易老化、可靠性差、動(dòng)態(tài)響應(yīng)慢、成本較高等缺點(diǎn)［1－3］，容易造成測(cè)試數(shù)據(jù)的失真，很難滿足目前工業(yè)測(cè)控領(lǐng)域?qū)Y(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行長(zhǎng)期、實(shí)時(shí)、在線自動(dòng)感知的要求，以及對(duì)傳感器成本低、耗電量小、質(zhì)量輕、體積小等的節(jié)能減排的要求［4－5］。

為了滿足結(jié)構(gòu)對(duì)測(cè)試的要求，研發(fā)出一種基于MEMS 微機(jī)械加工技術(shù)(Micro-Electro-Mechanical Systems)的無(wú)線加速度傳感器，并對(duì)其傳感特性進(jìn)行了研究。

1 無(wú)線加速度傳感器的整體設(shè)計(jì)方案

相對(duì)于現(xiàn)有的分布式采集－有線數(shù)據(jù)傳輸－中央數(shù)據(jù)處理的傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)振動(dòng)測(cè)試架構(gòu)，基于無(wú)線加速度傳感器技術(shù)的分布式采集－無(wú)線數(shù)據(jù)傳輸－分布式處理的新一代結(jié)構(gòu)振動(dòng)測(cè)試架構(gòu)系統(tǒng)采用模塊化方法進(jìn)行集成設(shè)計(jì)，具有測(cè)試精度高、穩(wěn)定性好及實(shí)時(shí)性強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)［6－7］。其主要由加速度信號(hào)檢測(cè)模塊、微控制器模塊、無(wú)線收發(fā)模塊和電源模塊構(gòu)成，如圖1所示。其工作過(guò)程如下:微控制器模塊通過(guò)無(wú)線收發(fā)模塊接收遠(yuǎn)程監(jiān)控中心下達(dá)的數(shù)據(jù)采集指令，控制加速度信號(hào)檢測(cè)模塊啟動(dòng)或停止對(duì)外部振動(dòng)激勵(lì)的采集，接收加速度信號(hào)檢測(cè)模塊所檢測(cè)到的外部振動(dòng)激勵(lì)信號(hào)，并進(jìn)行壓縮、濾波、打包處理，最終經(jīng)無(wú)線收發(fā)模塊將處理好的加速度信號(hào)傳輸至遠(yuǎn)程監(jiān)控中心。電源模塊分別為加速度信號(hào)檢測(cè)模塊、微控制器模塊、無(wú)線收發(fā)模塊提供電能，其供電方式為3.3 V 可充電鋰電池供電，同時(shí)設(shè)計(jì)了外接電源供電接口，在條件允許的情況下采用外接電源供電，可以延長(zhǎng)電池的使用壽命。

圖1 無(wú)線加速度傳感器的整體設(shè)計(jì)方案

1.1 加速度信號(hào)檢測(cè)原理及外圍電路設(shè)計(jì)

綜合考慮結(jié)構(gòu)的低頻振動(dòng)特性及傳感器芯片的測(cè)試精度、頻率測(cè)試范圍、占空比等因素，采用VTI公司的一款基于3D-MEMS(微機(jī)械加工系統(tǒng))電容傳感器技術(shù)的高精度、低功耗、低成本的單軸加速度傳感器芯片SCA830－D06，其主要是由一個(gè)高精度微機(jī)電加速度傳感元件和一個(gè)靈活的SPI 數(shù)字接口組成，工作電壓范圍為+3.0V～+3.6V，帶寬范圍為50 Hz，工作溫度范圍為－40℃－+125℃，最大功耗為20 mW，測(cè)量結(jié)果以數(shù)字SPI 形式輸出。

微控制器模塊采用TI 公司的超低功耗的混合信號(hào)控制器MSP430F249，MSP430F249 能夠在低電壓下以超低功耗狀態(tài)工作，具有強(qiáng)大的處理能力和豐富的片內(nèi)外設(shè)置。片內(nèi)有3個(gè)基礎(chǔ)時(shí)鐘模塊，靈活的時(shí)鐘選擇使得控制器可在最合理的時(shí)種下進(jìn)行工作，大大降低了芯片的功耗。MSP430F249 具有豐富的外圍接口，包括標(biāo)準(zhǔn)串口、SPI 接口、I2C 接口等，方便連接多種設(shè)備。

如圖2所示為加速度信號(hào)檢測(cè)電路原理圖，微控制器與加速度傳感器芯片之間的數(shù)據(jù)通訊方式為SPI 方式，其中微控制器MSP430F249 作為主設(shè)備，加速度芯片SCA830－D06 作為從設(shè)備。微控制器接收到所發(fā)布的啟動(dòng)命令后將啟動(dòng)本次振動(dòng)采集，結(jié)構(gòu)產(chǎn)生振動(dòng)時(shí)，加速度傳感器芯片將所檢測(cè)到的加速度信號(hào)通過(guò)其內(nèi)部集成的濾波電路、采樣保持電路、AD 轉(zhuǎn)換電路等進(jìn)行處理，轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的數(shù)字量信號(hào)，微控制器模塊通過(guò)SPI 接口將加速度數(shù)字量接收至MSP430F249 的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器中，MSP430F249完成對(duì)加速度數(shù)字量的數(shù)字濾波、頻譜分析、特征值分析、數(shù)據(jù)壓縮等工作，并對(duì)數(shù)據(jù)按照Z(yǔ)igBee 協(xié)議格式進(jìn)行打包。

圖2 加速度芯片與微處理器芯片連接電路圖

1.2 無(wú)線數(shù)據(jù)收發(fā)電路設(shè)計(jì)

無(wú)線收發(fā)模塊采用TI 下屬Chipcon 公司生產(chǎn)的CC2430 芯片，它是一種符合ZigBee 技術(shù)的2.4GHz射頻系統(tǒng)單芯片，此單芯片上整合了ZigBee 射頻(RF)前端、內(nèi)存和微控制器。它采用高性能和低功耗的8051 微控制器核;集成符合IEEES02.15.4 標(biāo)準(zhǔn)的2.4 GHz 的RF 無(wú)線電收發(fā)機(jī);具有優(yōu)良的無(wú)線接收靈敏度和強(qiáng)大的抗干擾性;在休眠模式時(shí)僅0.9μA 的流耗，外部的中斷或RTC 能喚醒系統(tǒng)，在待機(jī)模式時(shí)少于0.6μA 的流耗，外部的中斷能喚醒系統(tǒng);適應(yīng)較寬的電壓范圍(2.0 V～3.6 V);集成AES 安全協(xié)處理器。圖3所示為微控制器模塊與無(wú)線收發(fā)模塊的連接原理圖。

CC2430 與微控制器MSP430F249 之間同樣采用SPI 通信接口方式，其中MSP430F249 作為主設(shè)備，CC2430 作為從設(shè)備。圖3 中，CC2430 的引腳11、12、13、14、15 分別與MSP430F249 的引腳P4.4、P4.3、P4.2、P4.1、P4.0 相連，表示收發(fā)數(shù)據(jù)的狀態(tài)。C15、C16為22 pF 的電容，連接32 MHz 的晶振電路，此石英晶體用于正常工作使用。C10、C11為15 pF 的電容，連接32.768 kHz 的晶振電路，用于休眠時(shí)工作，以降低功耗。C17為0.1μF 與6.8 kΩ 的電阻R10 相連后連接至RESET 端，防止單片機(jī)錯(cuò)誤復(fù)位。C13、C14、C18、C19 分別為220 nF、10 nF、100 nF、220 nF 用作濾波，去除雜波干擾使電壓更穩(wěn)定。

圖3 微控制器與無(wú)線收發(fā)模塊電路連接

無(wú)線數(shù)據(jù)收發(fā)電路的工作過(guò)程如下:微控制器將打包后的數(shù)據(jù)通過(guò)SPI 通信接口傳輸至無(wú)線收發(fā)模塊，無(wú)線收發(fā)模塊收到數(shù)據(jù)后選擇最優(yōu)無(wú)線發(fā)送路徑將數(shù)據(jù)包傳輸至相鄰傳感器。此外，無(wú)線收發(fā)模塊自動(dòng)檢測(cè)其他傳感器節(jié)點(diǎn)所發(fā)送過(guò)來(lái)的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)發(fā)請(qǐng)求，當(dāng)無(wú)線收發(fā)模塊處于空閑狀態(tài)時(shí)，可接收其他傳感器所發(fā)送過(guò)來(lái)的數(shù)據(jù)并進(jìn)行轉(zhuǎn)發(fā)，從而延長(zhǎng)通訊距離。當(dāng)傳感器處于空閑狀態(tài)時(shí)，整個(gè)傳感器將處于休眠狀態(tài)，以降低待機(jī)功耗，延長(zhǎng)工作時(shí)間。

現(xiàn)場(chǎng)所有傳感器節(jié)點(diǎn)所采集的數(shù)據(jù)通過(guò)各自的最優(yōu)路徑最終匯集在現(xiàn)場(chǎng)主控節(jié)點(diǎn)，各傳感器數(shù)據(jù)可通過(guò)各自不同的身份ID 號(hào)加以識(shí)別。主控節(jié)點(diǎn)可與Internet 網(wǎng)互聯(lián)，進(jìn)而將所有振動(dòng)數(shù)據(jù)遠(yuǎn)程傳輸至數(shù)據(jù)中心，對(duì)各傳感器數(shù)據(jù)進(jìn)行詳細(xì)分析處理。

1.3 軟件實(shí)現(xiàn)

在硬件電路完成之后，必須通過(guò)編寫軟件程序才能使得該無(wú)線傳感器正常工作。軟件程序要能夠完成對(duì)各個(gè)模塊進(jìn)行初始化、控制器的啟動(dòng)運(yùn)行和數(shù)據(jù)處理功能以及數(shù)據(jù)的無(wú)線收發(fā)等功能。本研究采用C 語(yǔ)言作為編程語(yǔ)言。為了降低功耗、節(jié)約電池供電能量、延長(zhǎng)工作時(shí)間，沒(méi)有外部觸發(fā)時(shí)，系統(tǒng)處于休眠狀態(tài)，需要工作時(shí)，發(fā)出喚醒命令，重新進(jìn)入工作狀態(tài)。

2 傳感器動(dòng)態(tài)傳感特性實(shí)驗(yàn)與分析

實(shí)驗(yàn)研究MEMS 加速度傳感器的動(dòng)態(tài)特性，對(duì)無(wú)線MEMS 傳感技術(shù)在結(jié)構(gòu)振動(dòng)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)中的可行性和可靠性進(jìn)行進(jìn)一步的驗(yàn)證。實(shí)驗(yàn)用的MEMS傳感器即為本研究第1 部分設(shè)計(jì)的傳感器，并對(duì)設(shè)計(jì)好的傳感器進(jìn)行封裝考核。實(shí)驗(yàn)裝置主要由DF1010 寧波中策電子有限公司超低頻信號(hào)發(fā)生器、XS 型振動(dòng)臺(tái)伺服控制系統(tǒng)、振動(dòng)實(shí)驗(yàn)臺(tái)、筆記本電腦等組成。將無(wú)線MEMS 傳感器和標(biāo)準(zhǔn)有線加速度(型號(hào)891－4)傳感器用環(huán)氧樹脂(EPOXY)粘貼于振動(dòng)實(shí)驗(yàn)臺(tái)(帶激振器)上下表面對(duì)應(yīng)位置處，并將標(biāo)準(zhǔn)有線加速度傳感器(型號(hào)891－4)的輸出作為標(biāo)準(zhǔn)加速度，利用超低信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生低頻正弦信號(hào)，在振動(dòng)臺(tái)伺服控制系統(tǒng)下，測(cè)試振動(dòng)臺(tái)在不同頻率(低頻振動(dòng)測(cè)試頻率范圍為0.1 Hz～40 Hz)激振下傳感器的動(dòng)態(tài)響應(yīng)。

2.1 動(dòng)態(tài)響應(yīng)線性度分析

線性度是表征傳感器輸出－輸入校準(zhǔn)曲線與所選定的擬合直線之間的吻合(或偏離)程度的指標(biāo)。顯然，選定的擬合直線不同，計(jì)算得到的線性度數(shù)值也就不同。選擇擬合直線的原則應(yīng)保證獲得盡量小的非線性誤差［8］，選用最小二乘法原理來(lái)求取擬合直線可保證傳感器校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的殘差平方和最小。

線性度可通過(guò)輸出電壓和輸入加速度響應(yīng)的關(guān)系曲線分析，如圖4所示。在圖中加速度的輸入選擇了從0～3 gn的測(cè)試范圍，由分析可知，傳感器的線性擬合度為0.999 7，也即傳感器的輸出電壓與加速度成正比。

圖4 輸出電壓與標(biāo)準(zhǔn)加速度之間的關(guān)系

2.2 動(dòng)態(tài)響應(yīng)實(shí)時(shí)特性分析

主要考察將MEMS 傳感器與標(biāo)準(zhǔn)電阻加速度傳感器粘貼到基體材料后，其動(dòng)態(tài)特性與標(biāo)準(zhǔn)加速度傳感器的一致性。所采用的實(shí)驗(yàn)儀器和設(shè)備與2.1 相同，測(cè)試結(jié)果如圖5、圖6所示。

圖5 MEMS 傳感器動(dòng)態(tài)響應(yīng)圖

通過(guò)多次測(cè)量可以發(fā)現(xiàn)，所研發(fā)的加速度傳感器與所選的標(biāo)準(zhǔn)傳感器數(shù)據(jù)吻合的很好，二者在相同條件下的動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性具有很好的一致性，可以用于結(jié)構(gòu)的低頻振動(dòng)的動(dòng)態(tài)實(shí)時(shí)測(cè)試。

圖6 標(biāo)準(zhǔn)加速度傳感器動(dòng)態(tài)響應(yīng)圖

3 結(jié)論

為了克服傳統(tǒng)機(jī)械類傳感器測(cè)試精度不高及長(zhǎng)期穩(wěn)定性差的不足，本研究采用MEMES 技術(shù)制成的加速度芯片設(shè)計(jì)并研發(fā)了一種新型加速度傳感器，對(duì)構(gòu)成傳感器的外圍電路進(jìn)行了設(shè)計(jì)。并對(duì)所設(shè)計(jì)研發(fā)的傳感器設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)對(duì)其動(dòng)態(tài)特向進(jìn)行考核，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:所研發(fā)的傳感器具有良好的動(dòng)態(tài)特性，具有良好的線性度及長(zhǎng)期的重復(fù)穩(wěn)定性，適于結(jié)構(gòu)的長(zhǎng)期實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。該傳感器可以批量化生產(chǎn)、價(jià)格低、穩(wěn)定性好、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快。

［1］梁山，胡穎，王可之，等.基于無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)的山體滑坡預(yù)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)［J］.傳感技術(shù)學(xué)報(bào)，2010，23(8):1184－1188.

［2］毛堯輝，苑偉政，虞益挺.基于MEMS 技術(shù)的無(wú)線加速度測(cè)量系統(tǒng)［J］.微納電子技術(shù)，2006，5:254－257.

［3］王慶敏，蘇木標(biāo)，劉玉紅，等.MEMS 加速度傳感器在橋梁橫向動(dòng)位移監(jiān)測(cè)中的應(yīng)用［J］.儀器儀表學(xué)報(bào)，2007，28(4):345－348.

［4］Wang Qingmin，Yang Yaoen，Su Mubiao.Research on Application of Micro-Nano Acceleration Sensor in Monitoring the Vibration State of Vehicles［J］.Procedia Engineering，2012，29(1):1213－1217.

［5］王慶敏，楊要恩，蘇木標(biāo)，等.MEMS 微電容式傳感器的傳感特性研究［J］.傳感技術(shù)學(xué)報(bào)，2009，22(10):1396－1400.

［6］楊要恩，王慶敏，孫寶臣，等.F－P 光纖傳感器的溫度與應(yīng)變傳感特性研究［J］.傳感器技術(shù)，2005，24(4):24－28.

［7］王少華，李宏偉，歐進(jìn)萍.基于MEMS 的微電容式無(wú)線加速度傳感器的研究［J］.傳感器與微系統(tǒng)，2007，26(6):94－96.

［8］Geiger W，Butt W U，Gaisser A.Decoupled Microgyro and the Design Principle DAVED［J］.Sensor and Actuators，2002，A95:239－249.