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        我國半導(dǎo)體SiC單晶體材料和設(shè)備生產(chǎn)實現(xiàn)新突破

        2019-09-23 09:04:05
        科學(xué)導(dǎo)報 2019年11期
        關(guān)鍵詞:電科高純襯底

        2018年6月5日,中國電科二所為我國半導(dǎo)體SiC單晶體材料和設(shè)備生產(chǎn)實現(xiàn)新突破,這兩項“批量生產(chǎn)”技術(shù)水平都達到了國際先進水平。2018年年初,該所突破了SiC單晶的低應(yīng)力控制技術(shù)、本征深能級點缺陷控制技術(shù)等系列關(guān)鍵技術(shù),在國內(nèi)率先實現(xiàn)了4英寸高純半絕緣4H-SiC單晶襯底材料的工程化和6英寸高純半絕緣4H-SiC單晶襯底的研發(fā),經(jīng)驗證與美國Cree襯底水平相當(dāng),一舉突破國外對我國高純半絕緣碳化硅晶體生長技術(shù)的長期封鎖。當(dāng)時,中國電科二所已自制SiC單晶生長爐100臺;計劃全年生產(chǎn)4英寸高純半絕緣4H-SiC單晶襯底4000~5000片,已與客戶簽訂4000片供貨合同。

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