摘要:TFT-LCD在制程中會(huì)產(chǎn)生亮點(diǎn)、暗點(diǎn)、閃點(diǎn)、碎亮點(diǎn)等常見(jiàn)點(diǎn)缺陷。說(shuō)明了檢測(cè)點(diǎn)缺陷的裝置、方法和過(guò)程。采用ITO隔離、激光炸射等方法對(duì)點(diǎn)缺陷進(jìn)行修復(fù)或者淡化,其中ITO隔離法修復(fù)或淡化效果顯著。修復(fù)成功率從45%提升到80%。
關(guān)鍵詞:TFT-LCD; 點(diǎn)缺陷; 檢測(cè); 激光修復(fù)
中圖分類號(hào):TN27-34文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼:A文章編號(hào):1004-373X(2012)23-0189-03