摘要:TFT-LCD在制程中會產(chǎn)生亮點、暗點、閃點、碎亮點等常見點缺陷。說明了檢測點缺陷的裝置、方法和過程。采用ITO隔離、激光炸射等方法對點缺陷進行修復(fù)或者淡化,其中ITO隔離法修復(fù)或淡化效果顯著。修復(fù)成功率從45%提升到80%。
關(guān)鍵詞:TFT-LCD; 點缺陷; 檢測; 激光修復(fù)
中圖分類號:TN27-34文獻標識碼:A文章編號:1004-373X(2012)23-0189-03
現(xiàn)代電子技術(shù)2012年23期
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