金 暉，羅 敏，劉 忠

(中國工程物理研究院應(yīng)用電子學(xué)研究所，四川 綿陽621900)

為了推動微波功率合成技術(shù)的發(fā)展，需要開展多路同步輸出的脈沖功率源開關(guān)關(guān)鍵技術(shù)研究，以實現(xiàn)電子束精確同步(同步抖動≤10 ns)，源輸出波形一致性好，滿足負(fù)載工作要求。在氣體開關(guān)的各種觸發(fā)方式中，激光觸發(fā)開關(guān)是減少開關(guān)延遲時間和時間抖動的一種比較理想的開關(guān)。氣體介質(zhì)的激光開關(guān)，時延可達到1 ns～2 ns，其時間抖動可達到亞納秒量級[1]。因此，單路脈沖功率源主開關(guān)采用吹氣式激光觸發(fā)氣體火花開關(guān)，要求其開關(guān)抖動≤5 ns，重復(fù)頻率為50 Hz。

在兩路脈沖功率源的同步輸出實驗中，觸發(fā)控制系統(tǒng)是保證源正確有效合成的關(guān)鍵?？刂葡到y(tǒng)一方面產(chǎn)生兩臺源正常運行的工作時序，同時通過同步考慮的設(shè)計，控制激光觸發(fā)開關(guān)產(chǎn)生觸發(fā)信號，達到一定的功率合成效率。由于功率MOSFET具有單極型、電壓驅(qū)動、開關(guān)速度快、輸入阻抗高、熱穩(wěn)定性好及所需驅(qū)動功率小而且驅(qū)動電路簡單的特點，所以采用MOSFET來設(shè)計激光觸發(fā)器的外觸發(fā)控制系統(tǒng)。

1 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)及工作原理

圖1為激光觸發(fā)脈沖功率源同步控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖，單臺源均采用德國InnoLas公司的SpitLight 1200激光器，將觸發(fā)信號分成多路，分別控制單元開關(guān)導(dǎo)通。激光觸發(fā)系統(tǒng)工作原理為：兩路脈沖功率源的儲能單元充電到設(shè)定值，控制系統(tǒng)根據(jù)目標(biāo)位置設(shè)定兩臺源的觸發(fā)時間間隔，分別發(fā)指令到兩臺源的激光觸發(fā)系統(tǒng)，觸發(fā)系統(tǒng)產(chǎn)生激光注入主開關(guān)，控制兩組主開關(guān)各自擊穿，初級能源系統(tǒng)儲存的電能通過開關(guān)向負(fù)載饋送。

激光器對外觸發(fā)系統(tǒng)的設(shè)計參數(shù)要求如下：

(1)產(chǎn)生閃燈觸發(fā)信號。脈沖幅值 5 V～15 V，脈寬≥100 μs，工作頻率 50 Hz，負(fù)載 50 Ω；

(2)產(chǎn)生普克爾盒觸發(fā)信號。脈沖幅值5 V～15 V，脈寬≥100 μs， 脈沖上升沿≤5 ns， 負(fù)載 50 Ω， 工作頻率50/N(N=1，2，…，50)。該信號與閃燈信號之間延時可調(diào)；

(3)外觸發(fā)電路、激光器和脈沖功率源之間采取隔離和屏蔽等抗干擾保護措施，確保觸發(fā)系統(tǒng)在功率源高壓大電流強輻射的惡劣環(huán)境中正常工作。

2 理論設(shè)計與分析

激光器外觸發(fā)系統(tǒng)由控制信號產(chǎn)生和控制信號觸發(fā)2部分組成，二者之間通過普通多模光纖(工作波長為820 nm)進行連接。其中，控制系統(tǒng)工作參數(shù)設(shè)置(如工作頻率和工作次數(shù)等)、控制信號產(chǎn)生、輸出信號隔離及轉(zhuǎn)換(電/光)等功能在控制信號產(chǎn)生單元內(nèi)實現(xiàn)，它位于操作者所在的工作區(qū)；放置于脈沖功率源激光器側(cè)的是控制信號觸發(fā)單元，完成通過光纖傳輸而來的輸入信號轉(zhuǎn)換(光/電)、放大、快上升沿信號形成以及隔離觸發(fā)輸出等功能。

2.1 控制信號產(chǎn)生單元設(shè)計

控制信號產(chǎn)生單元分為2部分：

(1)脈沖觸發(fā)信號發(fā)生器。用于產(chǎn)生控制功率MOSFET器件、功率晶體管工作的脈沖觸發(fā)信號，具有輸出脈沖的個數(shù)、脈寬及頻率可調(diào)的能力，輸出為TTL電平。采用工業(yè) PC，內(nèi)置 NI定時/計數(shù)卡 PCI-6602，利用 Lab-VIEW開發(fā)系統(tǒng)編制計算機人機界面，設(shè)置工作參數(shù)，編程產(chǎn)生激光器外觸發(fā)工作所需的控制信號。其中PCI-6602提供 8路 32 bit源頻率80 MHz的定時/計數(shù)通道，輸出脈沖信號上升沿實驗測試在10 ns左右；

(2)光纖隔離電路。用于隔離TTL電平的觸發(fā)信號和功率MOSFET的輸出電壓，具有響應(yīng)快、不失真的特點。光纖發(fā)送器件選用HFBR-1414，其帶寬可達 5 MHz，滿足脈寬為數(shù)百μs的觸發(fā)脈沖信號傳輸要求。

2.2 控制信號觸發(fā)單元設(shè)計

控制信號產(chǎn)生單元分為4部分：

(1)光/電轉(zhuǎn)換電路。采用 HFBR-2412光纖接收器件，將通過多模光纖傳輸至控制信號觸發(fā)單元的光信號轉(zhuǎn)換為TTL電信號。

(2)功率 MOSFET驅(qū)動/功率晶體管驅(qū)動電路，前者用于將低電平的TTL信號提升到可以用來驅(qū)動功率MOSFET器件的電平，以產(chǎn)生脈沖上升沿≤5 ns的激光器普克爾盒觸發(fā)信號。后者用來產(chǎn)生閃燈觸發(fā)信號。

(3)功率MOSFET器件。MOSFET（金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)管)是一種電壓控制型的器件，由于MOSFET是正溫度系數(shù)，所以可避免溫度持續(xù)上升而使器件損壞。同時由于它的導(dǎo)通電阻在理論上沒有上限值，因此導(dǎo)通時的能量損失可以非常小。其優(yōu)點是：具有非?？斓膶?dǎo)通和關(guān)斷能力(ns量級)；非常低的觸發(fā)能量；能工作在高重復(fù)頻率下(MHz量級)；使用壽命長(平均109次)；高效率、脈寬可以調(diào)節(jié)(輸出由輸入觸發(fā)信號決定)。經(jīng)選擇采用IR公司的功率MOSFET器件——IRLML2803，它的漏源極擊穿電壓VDSS為30 V，直流電流ID為1.2 A，脈沖下最大輸出電流為7.3 A，導(dǎo)通延時時間Td(on)為 3.9 ns，關(guān)斷時間 Toff為 9 ns。

(4)電源部分。采用鋰電池組提供給光纖隔離電路和功率MOSFET驅(qū)動電路所使用的低壓電源。它配裝有專用保護板，具有過充、過放、過壓、欠壓、過流短路及反接保護功能，進一步保證電池組控制部分的安全工作。這樣有效地消除了觸發(fā)單元與前級控制信號產(chǎn)生單元及后級功率源高壓工作回路因電源共地而可能產(chǎn)生的高壓擊穿等危險因素。

如圖2所示，變換后的TTL電平經(jīng)整形、功率MOSFET/功率晶體管驅(qū)動、脈沖變壓器隔離輸出至激光器。為了保證觸發(fā)單元的正常工作，在其輸出至激光器之前需加入高耐壓(5 kV)脈沖變壓器進行電氣隔離。

2.3 功率MOSFET器件及其驅(qū)動電路選擇

圖3為功率MOSFET器件的工作原理電路示意圖。圖3(a)中，RG和CGS是影響 MOSFET導(dǎo)通延時的主要參數(shù)；漏柵極電容CGD是造成開關(guān)動作過程中柵極電壓受干擾的主要參數(shù)；漏源極電容CDS是影響關(guān)斷時間的主要參數(shù)。MOSFET器件轉(zhuǎn)換過程有2個：導(dǎo)通轉(zhuǎn)換和關(guān)斷轉(zhuǎn)換。導(dǎo)通轉(zhuǎn)換過程的漏源電壓VDS、漏極電流 iD、柵源電壓VGS和與柵極電流iG隨時間t的變化關(guān)系如圖3(b)所示。導(dǎo)通轉(zhuǎn)換過程分成4個階段，各個階段分別是：

(1)t0～t1階段：柵極驅(qū)動電流 iG對 CDS和 CGS充電，使CGS上的電壓從0上升到MOSFET導(dǎo)通閾值VGS(th)。

(2)t1～t2階段：柵源電壓VGS繼續(xù)以指數(shù)規(guī)律上升，超過 MOSFET導(dǎo)通闡值 VGS(th)達到 Va，在 VGS超過 VGS(th)后，漏極電流開始增長，并達到最終的輸出電流Io。在這一過程中，由于電壓與電流重疊，MOSFET功耗最大。

(3)t2～t3階段： 從 t2時刻開始，MOSFET漏源電壓 VDS開始下降，引起從漏極到柵極的密勒電容效應(yīng)，使得VGS不能上升而出現(xiàn)平臺，在t3時刻漏源電壓下降到最小值。

(4)t3～t4階段：在這一區(qū)間柵源電壓VGS從平臺上升到最后的驅(qū)動電壓。上升的柵壓使漏源電阻RDS(on)減小，t4以后MOSFET進入導(dǎo)通狀態(tài)。

MOSFET器件的截止轉(zhuǎn)換過程與上面的過程相反。由上面的分析可知對柵極驅(qū)動電路的要求主要有：

(1)驅(qū)動信號的脈沖前、后沿都要陡峭。

(2)對功率MOSFET柵極的充放電回路時間常數(shù)要小，以提高功率MOSFET器件的開關(guān)速度。

(3)驅(qū)動電流為柵極電容的充放電電流，驅(qū)動電流要大，才能使開關(guān)波形的上升沿和下降沿更快。

選用MOSFET器件IRLML2803，查其特性曲線圖可得：在 VDS=15 V、VGS=12 V時，總柵極電荷 QG≈3.7 nC，則柵極電容C=QG/VGS=3.7 nC/12 V≈0.3 nF=300 pF。

MOSFET導(dǎo)通和截止的速度與MOSFET柵極電容的充電和放電速度有關(guān)。MOSFET柵極電容、導(dǎo)通和截止時間與MOSFET驅(qū)動器的驅(qū)動電流的關(guān)系可以表示為：

式中，dT是導(dǎo)通/截止時間，dV是柵極電壓，C是柵極電容(從柵極電荷值)，I是峰值驅(qū)動電流(對于給定電壓值)。

IRLML2803導(dǎo)通/截止時間是4 ns，則I=QG/dT=3.7 nC/4 ns≈0.9 A。即由以上公式得出的峰值驅(qū)動電流為0.9 A，同時還需要考慮在MOSFET驅(qū)動器和功率MOSFET柵極之間使用的外部電阻，這會減小驅(qū)動?xùn)艠O電容的峰值充電電流，所以選擇峰值輸出電流大于0.9 A的驅(qū)動器。系統(tǒng)中采用的是4.5 A高峰值輸出電流的同相驅(qū)動器TC4424A，經(jīng)實驗驗證滿足快上升沿信號輸出要求。

3 測試結(jié)果與分析

3.1 觸發(fā)信號光纖傳輸轉(zhuǎn)換測試

激光器外觸發(fā)系統(tǒng)采用光纖傳輸和收發(fā)技術(shù)，由于其本身是由絕緣材料制成，所以具有很好的高電壓隔離能力，同時還具有很強的抗干擾能力，多路光纖信號傳輸?shù)耐叫砸卜浅：?，滿足對信號高壓隔離和同步性的要求。

圖4為激光器外觸發(fā)單元產(chǎn)生的信號波形圖。圖4(a)、圖4(b)中通道 2均顯示的是工作頻率 50Hz的激光器閃燈觸發(fā)信號 （前者是輸出個數(shù)為50的脈沖序列，后者是單個輸出脈沖），它在控制信號產(chǎn)生單元內(nèi)由PC機編程產(chǎn)生，經(jīng)脈沖變壓器隔離、電/光轉(zhuǎn)換、光纖傳輸處理輸入至觸發(fā)單元，再經(jīng)過光/電轉(zhuǎn)換、功率晶體管驅(qū)動放大，由高耐壓脈沖變壓器隔離輸出至激光器，其上升時間Tr在200 ns以內(nèi)，主要是由脈沖變壓器的輸出上升時間確定。

圖4(a)、圖4(b)中通道1均為激光器普克爾盒觸發(fā)信號(顯示方式同通道 2)，工作頻率 50 Hz（50/N，N=1)，在控制信號產(chǎn)生單元內(nèi)信號生成方式同閃燈觸發(fā)信號，不同的是在觸發(fā)單元內(nèi)經(jīng)過功率MOSFET及高速MOSFET驅(qū)動器成形等處理，最終生成實測上升沿小于5 ns的脈沖信號。

實驗中測得激光器閃燈觸發(fā)信號、普克爾盒觸發(fā)信號脈寬均為160 μs，后者較前者滯后約250 μs， 兩 者 均可調(diào)，并且普克爾盒觸發(fā)信號的輸出頻率也可調(diào)，滿足激光器的使用要求。

3.2 激光器外觸發(fā)工作對功率源的影響

低抖動高功率重復(fù)頻率主開關(guān)系統(tǒng)是功率源同步控制系統(tǒng)的研制核心和難點。為了實現(xiàn)脈沖功率源同步系統(tǒng)的低抖動工作，首先對系統(tǒng)工作過程中的抖動來源進行分析。同步系統(tǒng)的工作流程如下：激光器外觸發(fā)系統(tǒng)產(chǎn)生一個快上升沿的信號送到激光器，激光器產(chǎn)生脈沖激光注入激光開關(guān)，激光開關(guān)閉合，形成線通過感應(yīng)疊加模塊對二極管放電，產(chǎn)生電子束。在這個過程中，可能產(chǎn)生以下的抖動：

(1)激光器外觸發(fā)系統(tǒng)電路抖動J1。抖動來源于傳輸線路及轉(zhuǎn)換線路中的芯片延時不同和芯片本身的抖動，該抖動經(jīng)實測小于2 ns；

(2)激光器抖動J2。抖動來源于激光器的工作過程，在快前沿信號(tr≤5 ns)觸發(fā)下激光器抖動小于3 ns。

(3)激光開關(guān)抖動J3。抖動來源于激光觸發(fā)產(chǎn)生等離子體放電的物理過程，設(shè)計指標(biāo)為小于5 ns。

圖5為脈沖功率源中4路感應(yīng)疊加模塊合成負(fù)載波形，重復(fù)頻率25 Hz，負(fù)載為平面二極管，圖中為25個波形的重疊（通道1為二極管電流信號波形，通道2為二極管電壓信號波形）。由此證明：采用激光器外觸發(fā)系統(tǒng)，負(fù)載輸出波形的一致性較好，重復(fù)頻率25 Hz工作時開關(guān)抖動低，滿足設(shè)計要求。

3.3 抗干擾考慮

激光器外觸發(fā)單元是同步運行中的控制環(huán)節(jié)，是裝置能否正常工作的關(guān)鍵。對觸發(fā)電路的要求是脈沖前沿陡且有足夠的幅值與脈寬，穩(wěn)定性與抗干擾性能好等。而高壓發(fā)生裝置容易產(chǎn)生各種瞬時尖峰信號，即所謂“毛刺”，當(dāng)其幅值和能量達到一定程度時，極易導(dǎo)致系統(tǒng)不能正常運行。在前期的同步運行試驗調(diào)試過程中，由于受實驗場地條件的限制，激光器電源與脈沖功率源的初級充電電源共地，在功率源運行時，導(dǎo)致激光器外觸發(fā)系統(tǒng)輸出至激光器普克爾盒的觸發(fā)信號相對于設(shè)定時刻提前產(chǎn)生一個尖峰干擾脈沖，從而無法保證同步運行試驗的正常進行。對此采取增加電源濾波器、高頻電容等方式，以消除電源引入的干擾影響，結(jié)果有所改善。下一步工作則是將激光器與其外觸發(fā)系統(tǒng)共用同一電源，與脈沖功率源的電源徹底分開，保證同步系統(tǒng)的安全工作。

實驗結(jié)果表明：采用功率MOSFET及其高速驅(qū)動器等措施有效，利用光纖收發(fā)器件轉(zhuǎn)換傳輸、高耐壓脈沖變壓器隔離可行。影響脈沖功率源開關(guān)同步輸出轉(zhuǎn)換效率的是激光器外觸發(fā)回路的性能。功率MOSFET開關(guān)通斷狀態(tài)可以通過觸發(fā)脈沖控制，選用高峰值輸出電路的MOSFET驅(qū)動器，可以將輸出脈沖信號上升沿控制在5 ns以下。采用激光器外觸發(fā)系統(tǒng)，單臺脈沖功率源重頻開關(guān)實現(xiàn)參數(shù)：工作電壓150 kV，電流30 kA、抖動≤5 ns、重復(fù)頻率25 Hz。為進一步開展兩臺或多臺脈沖功率源穩(wěn)定、可靠地精確同步輸出奠定一定的技術(shù)基礎(chǔ)。

另外，觸發(fā)控制電路印制電路板中，控制電路極易受到功率回路的干擾，應(yīng)使MOSFET驅(qū)動器和MOSFET的走線長度盡可能短，以此限制電感引起的振蕩效應(yīng)。驅(qū)動器輸出和MOSFET柵極間的電感，也會影響MOSFET驅(qū)動器在瞬態(tài)條件下將MOSFET柵極維持在低電平的能力。激光觸發(fā)實驗中存在的問題，如減小波形前沿、增強抗干擾能力等還需要繼續(xù)深入研究。

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