1 引言

人們的生活和工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)，以及動(dòng)植物的生存和生長(zhǎng)，都與周圍環(huán)境的濕度有著密切的關(guān)系。隨著科技的進(jìn)步在國(guó)民經(jīng)濟(jì)的多個(gè)部門(mén)對(duì)于濕度的測(cè)量和控制日益顯得重要和迫切，寺別是隨著生活水平的提高，空氣質(zhì)量越來(lái)越受到重視其中的相對(duì)濕度作為衡量居住適宜程度的關(guān)鍵指標(biāo)也得到了重視次量的濕度控制電器進(jìn)入人們的生活，濕度傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域不斷擴(kuò)大濕度是指氣體中的水分含量。通常使用的濕度表示方法有混合比、露點(diǎn)和相對(duì)濕度，在惡劣條件下工作，例如氣流速度、溫度、濕度變化非常劇烈或測(cè)量污染嚴(yán)重的工業(yè)氣體時(shí)，將使精度大大降低。在人類社會(huì)逐步由工業(yè)化時(shí)代向信息化時(shí)代邁進(jìn)的時(shí)候，能源、信息和材料己成為新技術(shù)革命的三大支柱。傳感器是能感受規(guī)定的被測(cè)量信號(hào)(物理或化學(xué)量)并按照一定規(guī)律將其轉(zhuǎn)換成可測(cè)信號(hào)(頻率信號(hào)等)的器件或裝置。其中敏感元件是傳感器的核心，選擇并優(yōu)化敏感材料以及新功能材料的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用一直是傳感器研究的熱點(diǎn)。