Crossing Automation公司(www.crossinginc.com)，一個為半導體設備制造商提供靈活、低成本和有效的前段及后段制造程序自動化解決方案及工程服務領域的領先供應商日前宣布，該公司已經獲得四項新專利。這些專利涉及晶圓生產設備前端的Loaport(晶圓裝載端口)，晶圓輸送機器手臂和晶圓輸送機器手臂的終端操作器，進一步拓展了Crossing在晶圓輸送環(huán)節(jié)自動化技術領域的領先地位。

這些重要專利為Crossing的Express ConnectTM產品系列增添了新的功能，并將被Crossing主要的半導體生產設備市場采用。展望未來，Crossing已經開始把這些專利應用于其它市場的生產設備，包括發(fā)光二極管(LED)和光伏(PV)等綠色技術以及生命科學領域。

下列關于這些新授予專利的簡要介紹顯示出了Crossing作為半導體及相關行業(yè)解決方案戰(zhàn)略供應商的地位：

Wafer EngineTM(晶圓機器手臂)專利號：7648327

這項專利涉及Crossing's Wafer EngineTM(晶圓機器手臂)。這是一個高速和高效率的晶圓輸送機器手臂。它用于設備前端工序,能服務2～6個或更多的裝載端口。Wafer EngineTM采用了一種經過現(xiàn)場驗證、占地少、質量輕的折疊型垂直移動軸，以及一個可執(zhí)行高速雙晶圓交換的雙滑動線性機器手臂裝置。該專利還描述了在機器手臂滑動體上配置晶圓對準和環(huán)境調節(jié)裝置的功能。Wafer Engine?是Crossing的ExpressConnect系統(tǒng)中的一個重要子系統(tǒng)，同時也是目前被眾多300mm半導體晶圓廠采用的SpartanTMEFEM and Sorter(設備前端和晶圓分揀機)產品系列取得成功的主要原因之一。

Variable Lot Size LoadportTM(可變批量設備前端工序晶圓裝載端口)，專利號：7585144和 7597523

這項專利涉及一種符合BOLTS標準的晶圓裝載端口。該裝載端口配備了一個可垂直索引的容器支承裝置和一個可控的環(huán)境屏蔽罩。這些功能有助于實現(xiàn)晶圓處理設備的裝載端口與不同容量和/或構造的晶圓容器之間靈活的接口連接。也適用于不同規(guī)格的前開式晶圓盒(FOUP)，簡化其運輸器和處理設備之間的交接和兼容。

Ultra Low Contact Area End-EffectorTM(超小面積接觸的機器手臂的終端操作器)，專利號：7669903

這項專利適用于一種機器手臂的終端操作，支承與處理半導體晶圓或其他薄面基板的方法。它能夠最大限度地減低晶圓背面與機器手支承/夾持表面之間的關鍵接觸處粒子的產生和/或轉移。此外，這種終端操作器上的支承部件能夠適應可能因表面應力或重力而造成變形的非平面晶圓。此支承部件的晶圓接觸單元還可以在無需移除或調整終端操作器的情況下進行處理或替換。

CROSSING AUTOMATION簡介

Crossing Automation是一家為半導體設備制造商提供靈活、低成本和有效的前段及后段制造程序自動化解決方案及工程服務領域的領先供應商。該公司獨有的自動化解決方案使其客戶能夠縮短產品上市時間、降低開發(fā)成本，并減少生產總成本。通過其前段及后段制造過程自動化解決方案，Crossing為設備制造商和集成電路制造商提供了極大的生產靈活性。