電致動(dòng)聚合物驅(qū)動(dòng)的無閥微泵的設(shè)計(jì)與制作
2009-08-14 07:41:00夏冬梅龐宣明陳曉南李博
西安交通大學(xué)學(xué)報(bào) 2009年7期
關(guān)鍵詞：微泵結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
夏冬梅 龐宣明 陳曉南 李 博
摘要：提出了一種由電致動(dòng)聚合物材料(DE)驅(qū)動(dòng)的平面擴(kuò)散／收縮管無閥微泵，通過分析擴(kuò)散／收縮管的角度、長度、最小寬度等關(guān)鍵參數(shù)對(duì)微泵性能的影響，對(duì)無閥微泵的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了設(shè)計(jì)，基于UV-LIGA工藝，將DE泵膜和SU-8泵體鍵合制作了無閥微泵的模型，并對(duì)DE泵膜結(jié)構(gòu)進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究，確定了合理的結(jié)構(gòu)形式，實(shí)現(xiàn)了微泵的單向泵送，在3500V、8Hz直流正弦電壓的作用下，無閥微泵的流量最大，為21.2μL／min，并且結(jié)構(gòu)簡單、易于密封、成本低，實(shí)驗(yàn)結(jié)果對(duì)電致動(dòng)聚合物微泵進(jìn)一步的科學(xué)研究和實(shí)際應(yīng)用都具有較大的促進(jìn)作用。
關(guān)鍵詞：電致動(dòng)聚合物；微泵；結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
中圖分類號(hào)：TN4文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A文章編號(hào)：0253-987X(2009)07-0092-04
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