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        Intel擴建廠房安裝ASML下一代EUV光刻機

        2022-04-28 03:50:58
        電腦報 2022年15期
        關(guān)鍵詞:光刻機埃米潔凈室

        修訂后的Intel最新工藝路線圖

        3月份Intel CEO帕特·基辛格在投資交流活動中透露,Intel 18A工藝將比原定時間提前半年投產(chǎn),現(xiàn)在Intel正用實際行動踐行著承諾。

        日前Intel在位于俄勒岡州的D1X工廠舉辦隆重的Mod3擴建儀式,并將此地命名為戈登摩爾公園(Gordon Moore Park)。Mod3的說法類似于我們游戲中所謂的Mod,也就是模塊,實際上,這是Intel為D1X工廠打的第三個MOD“補丁”,也是第二次擴建,投資高達30億美元。

        D1X-Mod3的主要工作實際上從去年8月份就開始了,其重大意義在于為工廠增加了2.5萬平方米的潔凈室空間,將D1X擴大了20%,這便為最終足以搬進ASML的下一代最先進高數(shù)值孔徑(High NA)EUV光刻機TWINSCAN EXE:5200 EUV創(chuàng)造必要條件。

        和服務(wù)Intel 3/4工藝的NXE 3000系列EUV光刻機相比,EXE 5200大了很多,突破了D1X原“天花板”?;氐?8A工藝制程,提速后最快可以在2024年第三季度登場。其實按照Intel之前多年“老實”的命名習(xí)慣,其對應(yīng)5nm+。外界傾向于認為,18A對應(yīng)18埃米,也就是1.8nm,對標的是臺積電2nm。

        今年開始到2024年,Intel的制程迭代將會非常緊湊,下半年會有第一代大規(guī)模使用EUV的Intel 4(原7nm),明年下半年則是最后一代FinFET晶體管的Intel 3(原7nm+)。2024年會全面進入基于環(huán)繞柵極晶體管技術(shù)的RibbonFET晶體管時代,同時還有Intel獨創(chuàng)的PowerVia背面電路,首發(fā)是Intel 20A(原5nm),名義2nm。

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