楊 利，陳柳松，謝永超

(1.湖南鐵道職業(yè)技術(shù)學(xué)院，湖南 株洲 412000；2.中車株洲所電氣技術(shù)與材料工程研究院，湖南 株洲 412000)

0 引言

集成電路芯片在封裝完成后，需要經(jīng)過檢測環(huán)節(jié)來確保芯片的品質(zhì)[1]。檢測環(huán)節(jié)包括電性能檢測和芯片外觀缺陷檢測。芯片外觀缺陷是指對(duì)根據(jù)芯片外觀判斷芯片是否存在缺陷，外觀無缺陷的芯片才能進(jìn)入電性能測試。因此，芯片外觀缺陷檢測在集成電路芯片制造業(yè)中是非常重要的環(huán)節(jié)[2]。傳統(tǒng)的缺陷檢測方法是指人工檢驗(yàn)芯片外殼是否完整，引腳是否有缺失、引腳間距是否一致等問題[3-5]。由于芯片種類繁雜、引腳較多、間距小等工藝特性，人工檢測存在效率低、誤判率高、不易量化等問題，已經(jīng)無法適應(yīng)日趨發(fā)展的工業(yè)領(lǐng)域。

機(jī)器視覺是通過機(jī)器來代替人眼進(jìn)行一系列的判斷，可以克服人工檢測存在的效率和準(zhǔn)確率低的缺點(diǎn)?；跈C(jī)器視覺的芯片缺陷檢測技術(shù)是指通過工業(yè)相機(jī)實(shí)時(shí)獲取芯片外形圖像，利用圖像處理算法對(duì)圖像進(jìn)行處理，根據(jù)預(yù)設(shè)判據(jù)判斷芯片是否存在缺陷。雙球貼片紅外接收頭是一種新型的紅外傳感器芯片，常用于電子遙控器等產(chǎn)品中，生產(chǎn)過程中需要對(duì)芯片進(jìn)行缺陷檢測。其中芯片反面為4個(gè)引腳，需要檢測引腳是否均勻、長短是否一致、是否彎曲等。但芯片尺寸非常小(約7*3*3 mm)，使得人工檢測難度大，因此用機(jī)器視覺檢測技術(shù)對(duì)該芯片進(jìn)行引腳缺陷檢測具有很大的實(shí)際意義。

1 缺陷檢測系統(tǒng)設(shè)計(jì)

機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)一般由硬件及軟件兩部分組成[6]。硬件部分由光源、工業(yè)相機(jī)、鏡頭、計(jì)算機(jī)等組成，完成圖像的采集功能；軟件部分由圖像處理軟件組成，軟件中的機(jī)器視覺算法完成對(duì)目標(biāo)工件的降噪、預(yù)處理、特征提取、定位識(shí)別以及尺寸檢測等功能[7-8]。工業(yè)相機(jī)分普通工業(yè)相機(jī)和智能工業(yè)相機(jī)，普通工業(yè)相機(jī)只負(fù)責(zé)圖像采集，圖像處理軟件運(yùn)行在計(jì)算機(jī)中；智能工業(yè)相機(jī)負(fù)責(zé)圖像采集和圖像處理，采用智能工業(yè)相機(jī)的系統(tǒng)不需要額外配置計(jì)算機(jī)。本系統(tǒng)采用智能工業(yè)相機(jī)完成圖像采集和圖像處理。

如圖1所示為系統(tǒng)總體框圖。系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)，輸送鏈將待檢測芯片傳輸至相機(jī)正下方的光照條件下，芯片反射光源發(fā)出的光后透過鏡頭在工業(yè)相機(jī)中成像[9-10]；工業(yè)相機(jī)采集圖像后自動(dòng)觸發(fā)圖像檢測算法，實(shí)現(xiàn)對(duì)芯片的缺陷檢測；識(shí)別完成后通過socket通訊協(xié)議發(fā)送給工業(yè)機(jī)器人；工業(yè)機(jī)器人準(zhǔn)確地吸取芯片，把瑕疵品和合格品分類放置到不同區(qū)域。

圖1 系統(tǒng)框圖

工業(yè)相機(jī)采用?？低暪镜腦86智能相機(jī)，分辨率為4 096*2 160，像素為890萬，F(xiàn)PS(幀率)為80 fps，滿足本設(shè)計(jì)的要求。由于芯片體積僅7*3*3 mm，需采用高倍鏡頭才能放大得到清晰的圖像。另外光源采用圓頂光源，因?yàn)閳A頂光源將LED環(huán)形光源安裝在碗狀表面內(nèi)且向圓頂內(nèi)照射，使得芯片的各個(gè)角度得到均勻的照明，不會(huì)出現(xiàn)反光不均勻的地方，從而獲得芯片的無影圖像。

工業(yè)機(jī)器人采用ABBIRB 360蜘蛛手工業(yè)機(jī)器人，拾料范圍達(dá)1 130 mm，具備出眾的跟蹤性能，便于與集成視覺軟件實(shí)現(xiàn)同步控制，滿足本設(shè)計(jì)的要求。

2 基于機(jī)器視覺的圖像處理

芯片的4個(gè)引腳位于芯片反面，合格品引腳個(gè)數(shù)完整、間距均勻、長短一致。在圖像采集完成后，先進(jìn)行圖像濾波、二值化等預(yù)處理得到對(duì)比度強(qiáng)的清晰圖像；然后對(duì)圖像進(jìn)行邊緣檢測得到ROI(感興趣)區(qū)域，并對(duì)圖像特征進(jìn)行提取；最后根據(jù)引腳個(gè)數(shù)判斷引腳是否缺失，根據(jù)引腳間距判斷引腳是否偏移。視覺檢測流程如圖2所示。

圖2 視覺檢測流程圖

2.1 圖像預(yù)處理

2.1.1 濾波

根據(jù)濾除信號(hào)頻率的不同，濾波器主要分為高頻濾波器、低頻率濾波器。其中高頻濾波器的主要作用是突出圖像的邊界，低頻濾波器的主要作用是濾除圖像上的噪聲。中值濾波器是一種典型的低頻濾波器，其原理是取圖像中某點(diǎn)的一個(gè)鄰域，把該點(diǎn)的值用鄰域中各點(diǎn)值的中值代替，這使得該點(diǎn)值更加接近真實(shí)的值，可以消除孤立的椒鹽噪聲點(diǎn)。和均值濾波器相比，在濾除圖像噪聲的同時(shí)不會(huì)造成圖像細(xì)節(jié)模糊，符合本設(shè)計(jì)的要求。

標(biāo)準(zhǔn)中值濾波器公式為：

g(i,j)=med[f(i)-k,j-1]

(1)

式中，f(i,j)為原始圖像、g(i,j)為濾波后的圖像，(k,l)為鄰域大小，也稱為濾波器的核。核越大濾波效果越好，但圖像的模糊化也會(huì)更嚴(yán)重。

本文中利用VisionPro軟件中的IPOneImage工具對(duì)圖像進(jìn)行中值濾波處理，在工具中先添加一個(gè)N*M的中值濾波器，再將濾波核的大小設(shè)為7*7。

2.1.2 灰度化處理

由于本系統(tǒng)相機(jī)為彩色相機(jī)，當(dāng)拍攝環(huán)境有顏色時(shí)會(huì)輸出彩色圖像，這會(huì)干擾引腳缺陷檢測效果，因此需先將圖像進(jìn)行灰度化處理，即將彩色圖像轉(zhuǎn)換為灰度圖像。

本文中利用VisionPro軟件中的ImageConvert工具進(jìn)行彩色圖像到灰色圖像的處理。ImageConvert工具的“運(yùn)行模式”參數(shù)：表示圖像顏色空間的轉(zhuǎn)換算法。本文選擇亮度算法，亮度算法表示從RGB(紅綠藍(lán)色彩分量)分量變?yōu)榛叶葓D像時(shí)，算法公式是：

Brightnes=0.3*R+0.6*G+0.1*B

(2)

式中，R為彩色圖像的紅色分量，G為綠色分量，B為藍(lán)色分量。Brightnes為灰度值。

2.2 引腳個(gè)數(shù)計(jì)算

引腳個(gè)數(shù)檢測的基本原理為：找到合格品芯片中的合格引腳，并以此為訓(xùn)練模板，當(dāng)待測引腳圖像和訓(xùn)練模板圖像特征匹配度高時(shí)，判斷引腳合格。

VisionPro軟件中的PMAlign工具能根據(jù)訓(xùn)練模板的特性對(duì)目標(biāo)圖像進(jìn)行識(shí)別和定位。使用該工具時(shí)，先在一個(gè)選定的搜索區(qū)域內(nèi)訓(xùn)練一個(gè)模板，然后在連續(xù)的輸入圖像中搜索該模板。PMAlign工具中選擇PatMax圖像定位集成算法。PatMax基于圖像特征而非像素特征，因此可以識(shí)別不同角度、不同尺寸的目標(biāo)。

通過對(duì)合格引腳圖片的訓(xùn)練，可快速搜索到圖像中的引腳，從而分辨出引腳個(gè)數(shù)。關(guān)鍵參數(shù)設(shè)置如圖3所示。其中，由于圖像方向的不確定性，“角度”參數(shù)設(shè)置為最大：-180～180°；由于拍攝視角的不同，圖像大小會(huì)有所差異，“縮放”參數(shù)設(shè)置為：0.8～1.2。由于引腳個(gè)數(shù)最大為4，“查找概數(shù)”參數(shù)設(shè)置為：4。

圖3 PMAlign工具參數(shù)設(shè)置

利用PMAlign工具進(jìn)行訓(xùn)練后，能夠準(zhǔn)確地找出引腳缺失的瑕疵品，但是實(shí)際生產(chǎn)過程中存在引腳完整但引腳彎曲或偏移的瑕疵品，因此需要進(jìn)一步進(jìn)行缺陷檢測判斷。

2.3 引腳間距計(jì)算

針對(duì)引腳個(gè)數(shù)為4的芯片需要進(jìn)一步計(jì)算引腳間距，以判斷引腳是否彎曲。假設(shè)4個(gè)引腳的中心點(diǎn)分別為p0、p1、p2、p3。引腳彎曲時(shí)其中心點(diǎn)可能偏移很小，且PMAlign識(shí)別時(shí)不是按照圖像中引腳的順序進(jìn)行搜索，因此不能把引腳中心點(diǎn)的距離作為判據(jù)。

如圖4所示，取垂直方向?yàn)榛鶞?zhǔn)線，設(shè)p0和p1兩點(diǎn)連接與基準(zhǔn)線之間的角度為a1，p0和p2兩點(diǎn)連接與基準(zhǔn)線之間的角度為a2，p0和p3兩點(diǎn)連接與基準(zhǔn)線之間的角度為a3。當(dāng)角度為負(fù)值時(shí)，先要將角度加上180°轉(zhuǎn)為正值。

圖4 引腳彎曲判斷原理

(3)

當(dāng)(3)式成立時(shí)，引腳分布均勻且不彎曲，產(chǎn)品為合格品，否則為瑕疵品。

本文利用VisionPro軟件的AnglePonitPonit工具計(jì)算兩點(diǎn)形成線與基準(zhǔn)線之間的角度，將兩引腳間中心點(diǎn)的角度差作為判據(jù)。

綜上所示，VisionPro的程序如圖5所示：導(dǎo)入圖像；利用ImageConvert工具將圖像轉(zhuǎn)為灰度圖像；利用IPOneImage工具對(duì)圖像進(jìn)行中值濾波濾除孤立噪聲；利用PMAlign工具實(shí)現(xiàn)對(duì)引腳的定位和搜索，計(jì)算出引腳個(gè)數(shù)；如果引腳個(gè)數(shù)小于4，則判斷芯片為引腳缺失的瑕疵品；如果引腳個(gè)數(shù)為4，進(jìn)一步利用AnglePointPonit工具對(duì)引腳中心點(diǎn)的角度進(jìn)行計(jì)算，如果角度偏差大于1°，判斷芯片引腳彎曲或偏移。

圖5 VisionPro程序

3 ABB機(jī)器人視覺通訊

相機(jī)成功識(shí)別芯片后，通過socket協(xié)議發(fā)送數(shù)據(jù)給機(jī)器人。機(jī)器人與相機(jī)通訊步驟為：socket通訊建立及數(shù)據(jù)收發(fā)、數(shù)據(jù)解析、坐標(biāo)系轉(zhuǎn)換。

3.1 socket通訊建立

建立機(jī)器人與相機(jī)的socket通訊，并接收相機(jī)數(shù)據(jù)。建立socket通訊時(shí)，先要調(diào)用socket關(guān)閉函數(shù)，確保之前的socket通訊關(guān)閉，防止數(shù)據(jù)沖突出錯(cuò)。具體代碼如下所示：

SocketClose socket1;//關(guān)閉之前的socket通訊

SocketCreate socket1;//新建一個(gè)socket通訊

SocketConnect socket1,"192.168.100.101",1400;//IP尋址

SocketSend socket1Str:="M";

SocketReceive socket1Str:=string1;//接收相機(jī)數(shù)據(jù)

WaitTime 0.5;

SocketClose socket1;

3.2 數(shù)據(jù)解析

數(shù)據(jù)解析目的是提取芯片的位置信息及識(shí)別結(jié)果。通訊數(shù)據(jù)格式為“x,y,theta,resultOD”，其中x為x坐標(biāo)；y為y坐標(biāo)；theta為旋轉(zhuǎn)角度，result為識(shí)別結(jié)果(1：合格品；0：瑕疵品)。如“1.23,4.56,7.89，1