摘 要：“半導(dǎo)體制造技術(shù)”作為集成電路設(shè)計(jì)理論與其后端生產(chǎn)技術(shù)的知識紐帶，對電子類專業(yè)學(xué)生面向集成電路科學(xué)的專業(yè)學(xué)習(xí)、興趣挖掘及工程實(shí)踐技能培養(yǎng)起著重要的作用。考慮半導(dǎo)體集成電路技術(shù)具有理論前沿性、發(fā)展快速性、應(yīng)用普適性的特點(diǎn)，該文結(jié)合目前“國際化加專業(yè)化”的電子類專業(yè)人才培養(yǎng)目標(biāo)，探討采用雙語教學(xué)模式的必要性和意義。提出“雙語輔助專業(yè)”教學(xué)的改革思路，從教材、教學(xué)方法和課程體系改革三方面論述該專業(yè)課程改革的構(gòu)想及成效。

關(guān)鍵詞：雙語教學(xué) 集成電路技術(shù) 專業(yè)課改革 半導(dǎo)體制造技術(shù)

中圖分類號：G64 文獻(xiàn)標(biāo)識碼：A 文章編號：1674-098X（2015）01（b）-0150-02

在當(dāng)今我國強(qiáng)力推進(jìn)自主集成電路芯片-“中國芯”的研發(fā)與制造，以及以電子信息科技為主導(dǎo)戰(zhàn)略的科技強(qiáng)國的大背景下，培養(yǎng)一批具備前沿半導(dǎo)體集成芯片的工程應(yīng)用能力，掌握以集成電路為載體的現(xiàn)代電子系統(tǒng)研發(fā)、設(shè)計(jì)與生產(chǎn)能力的電子類專業(yè)人材，已經(jīng)成為我國高等院《半導(dǎo)體制造技術(shù)》雙語教學(xué)的嘗試和探索。

校與科研部門的迫切使命。作為集成電路專業(yè)的一門重要的理論性課程《半導(dǎo)體制造技術(shù)》廣泛涉及量子物理、電學(xué)、光學(xué)、化學(xué)、分子力學(xué)等基礎(chǔ)科學(xué)的理論概念，又涵蓋半導(dǎo)體后端工藝的精密儀器、機(jī)械加工、材料分析等與制造相關(guān)的高新生產(chǎn)技術(shù)。該課程是各大高校集成電路專業(yè)的必修課程之一，對于學(xué)生貫通集成芯片研發(fā)流程的理解具有指導(dǎo)性意義。

本研究以“半導(dǎo)體制造技術(shù)”這門課程首次采用雙語教學(xué)的嘗試為切入點(diǎn)，提出以“雙語輔助專業(yè)”的教學(xué)思路，就電子類專業(yè)的雙語教學(xué)面臨的問題和困境從教材到教學(xué)方法，同時包括教學(xué)資源整合等課程體系方面提出了課程實(shí)施的構(gòu)想與實(shí)踐，以期為集成電路專業(yè)的課程質(zhì)量的提高與人材培養(yǎng)開辟一條新的思路。

1 電子類專業(yè)課教學(xué)現(xiàn)狀與問題

作為以工科專業(yè)見長的省屬地方性綜合類院?！幽峡萍即髮W(xué)在電子類專業(yè)課教學(xué)中，為了使學(xué)生能夠接觸到電子科技的最新進(jìn)展和前沿信息，擴(kuò)展視野、提高外文資料閱讀能力，重點(diǎn)選取了“半導(dǎo)體制造技術(shù)”為代表的專業(yè)主干課程制定了雙語教學(xué)的大綱，并有計(jì)劃、分步推動雙語教學(xué)的全面開展。對于我校目前的學(xué)生素養(yǎng)與師資水平而言，實(shí)施雙語教學(xué)面臨的問題主要包括兩方面：

學(xué)生的英文基礎(chǔ)及接受水平有限。對于習(xí)慣使用中文教材，英文約是四級水平的本科大三學(xué)生而言，“半導(dǎo)體制造技術(shù)”課程的專業(yè)詞匯和科技語法會造成閱讀能力跟不上，導(dǎo)致對重要專業(yè)知識的消化不良甚至抵觸。

教師的雙語授課和課程把握難度大。雙語授課使用外文教材，這就要求對教科書選擇，知識難度選取和授課時的雙語配比等問題反復(fù)論證，找出適合我校學(xué)生水平的教學(xué)模式。同時專業(yè)課教師雖然在科技文獻(xiàn)閱讀方面具有較強(qiáng)的基本功，但是真要雙語口頭表達(dá)，還是需要加強(qiáng)口語鍛煉。

就以上《半導(dǎo)體制造技術(shù)》課程師生面臨的一些主要問題，有針對性地對此次試點(diǎn)課程的雙語教學(xué)實(shí)踐提出建議和對策。

2 教學(xué)資源優(yōu)化

2.1 教材改革

教材是教師和學(xué)生溝通問題和交換信息的橋梁。雙語教學(xué)課程對教材選取提出了更高的要求?；谝浴半p語輔助專業(yè)”的授課理念，一方面要求教材中的基礎(chǔ)理論涵蓋面廣，同時對重點(diǎn)專業(yè)知識的研究要深入；一方面又要求外文語句條理清晰，易于閱讀。經(jīng)過了解對比并結(jié)合我校雙語教學(xué)的實(shí)際情況，最終選定由美國加州大學(xué)伯克利分校Michael Quirk教授主編的教材（Semiconductor Manufacturing Technology）。該書詳細(xì)追述了半導(dǎo)體及硅基集成電路的發(fā)展歷史并吸收了各種新的前沿技術(shù)資料，對于半導(dǎo)體硅芯片制造的每一個主要工藝流程包括氧化、淀積、光刻、刻蝕、離子注入和化學(xué)機(jī)械平坦化等都結(jié)合相關(guān)基礎(chǔ)理論加以詳細(xì)的講解，非常適合我校集成電路專業(yè)大三學(xué)生的學(xué)習(xí)。另外，該教材語言簡練，用詞準(zhǔn)確，再加以重點(diǎn)授課內(nèi)容的甄別和調(diào)整，很適合本科水平的學(xué)生閱讀和理解。

2.2 雙語師資隊(duì)伍建設(shè)

由于電子類專業(yè)課程的雙語教學(xué)剛剛起步，任課教師也需要有一個緩沖期來啟動和尋找英文授課的感覺。如提前在假期內(nèi)組織雙語教學(xué)針對口語授課的課程培訓(xùn)，與牽頭的外語系教師以及外教交流探討雙語授課的技巧和經(jīng)驗(yàn)，培訓(xùn)合格的骨干教師可以上崗開展雙語課程教學(xué)。從穩(wěn)定專業(yè)教師外語水平及其進(jìn)一步提升的長遠(yuǎn)目標(biāo)來說，學(xué)校選派有能力的骨干教師出國，觀摩例如著名的加州大學(xué)伯克利分校的“微電子電路與器件”等高水平的專業(yè)課外語課程，是提高英語口語與交流能力，開拓學(xué)科的國際化視野，也是構(gòu)建優(yōu)秀雙語師資、提高帶動雙語教學(xué)水平的有效手段。

2.3 雙語配套課程資源構(gòu)建

利用校園網(wǎng)絡(luò)搭建數(shù)字教學(xué)互動平臺，逐步創(chuàng)建包括“半導(dǎo)體制造技術(shù)”在內(nèi)的各個專業(yè)課程的外語專欄供學(xué)生之間，師生之間的交流互動?？梢話燧d雙語參考電子書、歐美先進(jìn)高校的公開課視頻、課件及國際頂尖電子公司如英特爾公司等的產(chǎn)品介紹、生產(chǎn)視頻等配套電子資源，既提高學(xué)生的自主學(xué)習(xí)興趣，了解專業(yè)前景便于設(shè)定就業(yè)和升學(xué)目標(biāo)，又幫助同學(xué)延伸課外學(xué)習(xí)，有助于專業(yè)技能的拔高和視野的擴(kuò)展。另外，創(chuàng)造條件鼓勵有興趣的學(xué)生進(jìn)入老師的研究室參與科研項(xiàng)目，布置學(xué)生進(jìn)行專業(yè)科技文獻(xiàn)閱讀，單獨(dú)進(jìn)行輔導(dǎo)。

3 教學(xué)方法和課程體系改革

3.1 教學(xué)方法改革

改變“我講你聽，聽過就忘”的“效率高，效果差”的傳統(tǒng)教學(xué)方法，針對“半導(dǎo)體制造技術(shù)”專業(yè)課的老式中文教學(xué)方法加以可突出雙語優(yōu)勢的改良。增加師生互動和課上質(zhì)疑問答，形式上可以多樣化，如分組討論、隨機(jī)抽查、即興演講等，鼓勵學(xué)生用英語作答與提問，給學(xué)生表現(xiàn)自己外語才能的機(jī)會，營造口語表達(dá)環(huán)境，解決“開口難”的難題。學(xué)生在加深對專業(yè)詞匯理解的同時，知識點(diǎn)已深入腦海。營造雙語授課環(huán)境，采取英文串講重難點(diǎn)概念的教學(xué)模式，備課時事先提取每個章節(jié)的必學(xué)知識點(diǎn)，課上著重用英語講解，重難點(diǎn)內(nèi)容分別用中、英文對譯；牢牢把握專業(yè)教材的知識精髓，精煉教學(xué)內(nèi)容，簡化英文PPT課件，在保障課程進(jìn)度的前提下，適當(dāng)添加與學(xué)生互動探討課程內(nèi)容的比例，激發(fā)其內(nèi)在的學(xué)習(xí)潛能，培養(yǎng)其知識獲取、內(nèi)化、表達(dá)的能力，同時避免類似“左耳進(jìn)、右耳出”等傳統(tǒng)教學(xué)方法造成的弊端。

3.2 構(gòu)建英文教學(xué)體系和環(huán)境

堅(jiān)持用英語備課、板書、作業(yè)和考試。教師在上雙語課前認(rèn)真?zhèn)浜妹恳惶谜n。課前5min，老師可以將事前準(zhǔn)備的本次課程中會用到的英語專業(yè)詞匯寫到黑板上，供學(xué)生在授課過程中，反復(fù)參照不斷深化與聯(lián)系專業(yè)知識點(diǎn)，逐漸加深印象進(jìn)而熟悉專業(yè)詞匯。作為課程后期的一個重要環(huán)節(jié)，英語作業(yè)必不可少，同時適當(dāng)?shù)靥峁┮恍I(yè)英語閱讀材料作為學(xué)習(xí)補(bǔ)充，鼓勵有興趣和學(xué)有余力的學(xué)生進(jìn)行大量國外文獻(xiàn)的閱讀，便于了解國內(nèi)外該專業(yè)的最新研究動態(tài)和進(jìn)展。閱讀原版外文教材也可以幫助學(xué)生培養(yǎng)撰寫與精讀科技論文的素養(yǎng)和外語語境下思考的良好習(xí)慣。對于高效率地學(xué)習(xí)類似“半導(dǎo)體制造技術(shù)”的電子類專業(yè)課程起到一個相輔相成的促進(jìn)作用。

4 結(jié)語

電子類專業(yè)課程的雙語教學(xué)改革是一個不斷嘗試和改進(jìn)的過程。半導(dǎo)體集成電路技術(shù)具有的理論前沿性、發(fā)展快速性、應(yīng)用普適性的特點(diǎn)，決定了電子類專業(yè)采用雙語教學(xué)模式的必要性和緊迫性，對于培養(yǎng)“國際化和專業(yè)化”的電子類專業(yè)技術(shù)人才具有重要的現(xiàn)實(shí)意義。提出“雙語輔助專業(yè)”教學(xué)的改革思路，針對實(shí)際教學(xué)任務(wù)中發(fā)現(xiàn)的問題，通過不斷優(yōu)化和調(diào)整雙語教學(xué)的各個環(huán)節(jié)加以解決和攻克。此次探討和研究將為電子類專業(yè)人才培養(yǎng)提供一些思考并希望開辟一條新的道路。

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